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磁控溅射镀膜 改变溅射功率的问题~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~
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用不同的功率 制备出的薄膜 晶粒尺寸应该是不同的吧？ 那功率越大 晶粒尺寸越大还是越小啊？？？ PS：有没有相关的文献。。。真心求教~~~~~~~~~~~~~~ |
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