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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 磁控溅射镀膜 改变溅射功率的问题~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~
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summerbs

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射镀膜 改变溅射功率的问题~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~

用不同的功率
制备出的薄膜
晶粒尺寸应该是不同的吧？
那功率越大 晶粒尺寸越大还是越小啊？？？


PS：有没有相关的文献。。。真心求教~~~~~~~~~~~~~~
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1楼 2013-05-13 10:47:32
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
一般规律：
功率越大
晶粒越大

非晶膜除外
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5楼2013-05-16 22:38:16
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summerbs

新虫 (小有名气)
有没有人啊~~~~~~~~~
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2楼2013-05-13 14:17:41
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
没数据
就自己做一下，不是什么结果都是现成的。

楼主太懒了
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3楼2013-05-13 15:57:34
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cstt2007

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

功率越大尺寸越大。我做过SEM，观察过。并且时间越长晶粒尺寸越大。
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4楼2013-05-16 15:06:58
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