版块导航: 正在加载中...

登录注册

应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜

>论坛更新日志 (4022)
>导师招生 (734)
>论文投稿 (399)
>硕博家园 (219)
>休闲灌水 (219)
>文献求助 (183)
>考博 (140)
>虫友互识 (127)
>新药研发 (98)
>学术会议 (92)
>公派出国 (85)
>考研 (71)
>基金申请 (69)
>招聘信息布告栏 (68)
>博后之家 (53)
>论文道贺祈福 (52)

返回列表

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

黑夜彩虹43

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 158
帖子: 5
在线: 3.3小时
虫号: 1857939
注册: 2012-06-13
专业: 金属材料的合金相、相变及

[求助] 磁控溅射金属时候遇到薄膜被氧化，怎么办已有1人参与

我在磁控溅射时候检查了真空度，绝对抽到要求的标准，然后溅射时候通的氩气，按理说不会有氧化现象，可是溅射金属合金时候就会出现逐层被氧化的情况，应该是边溅射边氧化的，严重影响实验效果，而同样操作用于制做同种纯金属就不会出现，请求帮助，谢谢了

回复此楼

» 猜你喜欢

售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急已经有11人回复
售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急已经有23人回复
售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急已经有13人回复
售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急已经有18人回复
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急已经有18人回复
2027博士申请-临床检验诊断学、病原生物学、微生物方向已经有4人回复
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急已经有10人回复
越来越担心硕士毕业后没有竞争力了已经有14人回复
论文的挂名怎么评判贡献？基金申请中，排名第一的挂名文章已经有3人回复
申博自荐 2篇一区TOP+1篇EI+2公开发明专利 2027博士申请已经有3人回复

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

射频磁控溅射法制备MgO薄膜已经有7人回复
做射频磁控溅射的金属铟靶材短路，融化了已经有9人回复
求教磁控溅射镀铝膜发黑的问题已经有16人回复
急问：磁控溅射生长NiO薄膜，测不出XRD？多谢！已经有16人回复
直流磁控溅射制备DLC，靶功率源的电压一直飙升，请问大神们是什么原因？已经有4人回复
求助射频磁控溅射氧化镁的方法已经有3人回复
磁控溅射制备氮化铝薄膜已经有7人回复
磁控溅射中如何用氩离子轰击基片已经有11人回复
磁控溅射镀金属膜，SEM可以看到晶粒大小吗，还是用AFM？已经有24人回复
关于金属靶磁控溅射问题已经有13人回复
在有机物薄膜上磁控溅射金属电极的问题已经有5人回复
请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？已经有13人回复
直流溅射Al膜总是被氧化已经有10人回复
磁控溅射ZnO薄膜，出来是黑灰色的，求教已经有12人回复
射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题已经有10人回复
求助关于磁控溅射清洗方面的问题~~~急急急已经有10人回复
磁控溅射能起辉，但不能沉积已经有21人回复
求助关于磁控溅射的问题已经有29人回复
直流磁控溅射镀膜总是被氧化已经有42人回复
我用磁控溅射镀的硼膜，是这个样子的，请问高手们是什么原因，该怎么办？已经有9人回复
【求助】射频磁控溅射镀4um厚的铝膜，颜色发白是怎么回事啊~~~ 已经有8人回复
【求助】请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源已经有21人回复
【求助】请教磁控溅射金属膜问题已经有23人回复

1楼 2014-12-16 09:54:37

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

黑夜彩虹43

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 158
帖子: 5
在线: 3.3小时
虫号: 1857939
注册: 2012-06-13
专业: 金属材料的合金相、相变及

引用回帖:

2楼: Originally posted by Friend007 at 2014-12-17 17:16:07
是不合金靶材的纯度不够，含氧量较高呢

不可能啊，靶材都是特别定制的，没有氧元素的。

赞一下

回复此楼

3楼2014-12-20 19:38:42

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

查看全部 5 个回答

Friend007

银虫 (知名作家)

应助: 90 (初中生)
金币: 916.3
散金: 100
红花: 25
帖子: 7340
在线: 327.2小时
虫号: 1289096
注册: 2011-05-08
性别: GG
专业: 机械工程

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

是不合金靶材的纯度不够，含氧量较高呢

赞一下

回复此楼

2楼2014-12-17 17:16:07

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

1-maker

木虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 1983
帖子: 175
在线: 305.3小时
虫号: 4034163
注册: 2015-08-23
专业: 金属材料的力学行为

兄台，你这个氧化问题解决了吗

赞一下

回复此楼

4楼2016-05-09 19:58:41

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

cyg376116

银虫 (小有名气)

应助: 4 (幼儿园)
金币: 348.2
散金: 215
帖子: 106
在线: 135.4小时
虫号: 1121561
注册: 2010-10-13
性别: GG
专业: 金属结构材料

你做的是什么合金靶材？

赞一下

回复此楼

其实你很好！

5楼2016-05-10 11:49:25

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

查看全部 5 个回答

24小时热门版块排行榜

黑夜彩虹43

[求助] 磁控溅射金属时候遇到薄膜被氧化，怎么办 已有1人参与

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

黑夜彩虹43

Friend007

【答案】应助回帖

1-maker

cyg376116

[求助] 磁控溅射金属时候遇到薄膜被氧化，怎么办已有1人参与