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黑夜彩虹43

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射金属时候遇到薄膜被氧化,怎么办 已有1人参与

我在磁控溅射时候检查了真空度,绝对抽到要求的标准,然后溅射时候通的氩气,按理说不会有氧化现象,可是溅射金属合金时候就会出现逐层被氧化的情况,应该是边溅射边氧化的,严重影响实验效果,而同样操作用于制做同种纯金属就不会出现,请求帮助,谢谢了
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黑夜彩虹43

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2014-12-17 17:16:07
是不合金靶材的纯度不够,含氧量较高呢

不可能啊,靶材都是特别定制的,没有氧元素的。
3楼2014-12-20 19:38:42
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Friend007

银虫 (知名作家)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
是不合金靶材的纯度不够,含氧量较高呢
2楼2014-12-17 17:16:07
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1-maker

木虫 (小有名气)

兄台,你这个氧化问题解决了吗
4楼2016-05-09 19:58:41
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cyg376116

银虫 (小有名气)

你做的是什么合金靶材?
其实你很好!
5楼2016-05-10 11:49:25
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