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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 磁控溅射金属时候遇到薄膜被氧化，怎么办
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黑夜彩虹43

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射金属时候遇到薄膜被氧化，怎么办 已有1人参与

我在磁控溅射时候检查了真空度，绝对抽到要求的标准，然后溅射时候通的氩气，按理说不会有氧化现象，可是溅射金属合金时候就会出现逐层被氧化的情况，应该是边溅射边氧化的，严重影响实验效果，而同样操作用于制做同种纯金属就不会出现，请求帮助，谢谢了
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1楼 2014-12-16 09:54:37
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Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
是不合金靶材的纯度不够，含氧量较高呢
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2楼2014-12-17 17:16:07
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黑夜彩虹43

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2014-12-17 17:16:07
是不合金靶材的纯度不够，含氧量较高呢

不可能啊，靶材都是特别定制的，没有氧元素的。
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3楼2014-12-20 19:38:42
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1-maker

木虫 (小有名气)
兄台，你这个氧化问题解决了吗
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4楼2016-05-09 19:58:41
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cyg376116

银虫 (小有名气)
你做的是什么合金靶材？
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其实你很好！
5楼2016-05-10 11:49:25
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