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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 关于磁控溅射SiO2薄膜的绝缘性问题
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suifeng_muiq

金虫 (小有名气)

[求助] 关于磁控溅射SiO2薄膜的绝缘性问题 已有3人参与

我们在溅射SiO2的时候用的是射频溅射，靶材为2英寸的SiO2. 溅射功率是100w和150w，工作气压是0.1 Pa。然后对SiO2的绝缘性进行测试，发现200 nm，250 nm的二氧化硅的绝缘性不好。300 nm的绝缘性还行，但是要分两次来做150nm+150nm。请教一下如何解决SiO2绝缘性不好的问题。另外，溅射的过程没有通O2，氧气对此有影响吗？求解！
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多数的错与失，是因为不努力、不坚持、不挽留，然后告诉自己一切都是命运！
1楼 2014-09-24 21:31:54
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
楼主观察过薄膜的表面形貌吗？二氧化硅理论上应该是绝缘的，但实际上却不绝缘，说明要么材料被污染了，要么薄膜存在大量孔洞，影响了绝缘性。
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2楼2014-09-25 14:05:47
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
4楼: Originally posted by suifeng_muiq at 2014-09-26 16:51:44
测试了一下，SiO2表面存在着空洞，那么有什么办法消除空洞吗？...

说明靶材可能密度不够高；或者里面存在较多的气孔。更换靶材、将沉积表面进行喷砂处理、膜溅射地厚一些。
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5楼2014-09-26 17:37:56
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150465250

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
suifeng_muiq: 金币+10, ★有帮助, 我试一下，谢谢 2014-10-10 11:13:41
覆盖率的问题。下面用三氧化二铝垫下底。三氧化二铝为非晶，覆盖率好。氧化硅容易晶化，就成岛状l咧
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7楼2014-10-06 14:24:40
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普通回帖

邢颖邢颖

新虫 (初入文坛)
可以考虑一下量子化
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3楼2014-09-25 18:18:22
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suifeng_muiq

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-09-25 14:05:47
楼主观察过薄膜的表面形貌吗？二氧化硅理论上应该是绝缘的，但实际上却不绝缘，说明要么材料被污染了，要么薄膜存在大量孔洞，影响了绝缘性。

测试了一下，SiO2表面存在着空洞，那么有什么办法消除空洞吗？
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多数的错与失，是因为不努力、不坚持、不挽留，然后告诉自己一切都是命运！
4楼2014-09-26 16:51:44
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
suifeng_muiq: 金币+20, ★★★很有帮助, 我试一下 2014-09-28 13:43:54
内容已删除
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
6楼2014-09-27 13:37:37
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li2005235

新虫 (初入文坛)
同学，SiO绝缘膜的绝缘性你是怎么测试的？做电极了吗？
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8楼2014-10-20 15:38:45
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suifeng_muiq

金虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by li2005235 at 2014-10-20 15:38:45
同学，SiO绝缘膜的绝缘性你是怎么测试的？做电极了吗？

对的，做的电极测试的
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多数的错与失，是因为不努力、不坚持、不挽留，然后告诉自己一切都是命运！
9楼2014-11-13 13:36:26
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julietzhu

银虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by suifeng_muiq at 2014-11-13 13:36:26
对的，做的电极测试的...

做的电极会不会也是影响绝缘性的因素呢？
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10楼2014-12-06 10:38:09
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