应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 关于磁控溅射SiO2薄膜的绝缘性问题
131/2返回列表12下一页
查看: 4346  |  回复: 12
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

suifeng_muiq

金虫 (小有名气)

[求助] 关于磁控溅射SiO2薄膜的绝缘性问题 已有3人参与

我们在溅射SiO2的时候用的是射频溅射，靶材为2英寸的SiO2. 溅射功率是100w和150w，工作气压是0.1 Pa。然后对SiO2的绝缘性进行测试，发现200 nm，250 nm的二氧化硅的绝缘性不好。300 nm的绝缘性还行，但是要分两次来做150nm+150nm。请教一下如何解决SiO2绝缘性不好的问题。另外，溅射的过程没有通O2，氧气对此有影响吗？求解！
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜材料和器件制备

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
多数的错与失，是因为不努力、不坚持、不挽留，然后告诉自己一切都是命运！
1楼 2014-09-24 21:31:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
楼主观察过薄膜的表面形貌吗？二氧化硅理论上应该是绝缘的，但实际上却不绝缘，说明要么材料被污染了，要么薄膜存在大量孔洞，影响了绝缘性。
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2014-09-25 14:05:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
4楼: Originally posted by suifeng_muiq at 2014-09-26 16:51:44
测试了一下，SiO2表面存在着空洞，那么有什么办法消除空洞吗？...

说明靶材可能密度不够高；或者里面存在较多的气孔。更换靶材、将沉积表面进行喷砂处理、膜溅射地厚一些。
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2014-09-26 17:37:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

150465250

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
suifeng_muiq: 金币+10, ★有帮助, 我试一下，谢谢 2014-10-10 11:13:41
覆盖率的问题。下面用三氧化二铝垫下底。三氧化二铝为非晶，覆盖率好。氧化硅容易晶化，就成岛状l咧
赞一下(1人) 回复此楼
7楼2014-10-06 14:24:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

邢颖邢颖

新虫 (初入文坛)
可以考虑一下量子化
赞一下 回复此楼
3楼2014-09-25 18:18:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

suifeng_muiq

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-09-25 14:05:47
楼主观察过薄膜的表面形貌吗？二氧化硅理论上应该是绝缘的，但实际上却不绝缘，说明要么材料被污染了，要么薄膜存在大量孔洞，影响了绝缘性。

测试了一下，SiO2表面存在着空洞，那么有什么办法消除空洞吗？
赞一下 回复此楼
多数的错与失，是因为不努力、不坚持、不挽留，然后告诉自己一切都是命运！
4楼2014-09-26 16:51:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
suifeng_muiq: 金币+20, ★★★很有帮助, 我试一下 2014-09-28 13:43:54
内容已删除
赞一下 回复此楼
趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
6楼2014-09-27 13:37:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

li2005235

新虫 (初入文坛)
同学，SiO绝缘膜的绝缘性你是怎么测试的？做电极了吗？
赞一下 回复此楼
8楼2014-10-20 15:38:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

suifeng_muiq

金虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by li2005235 at 2014-10-20 15:38:45
同学，SiO绝缘膜的绝缘性你是怎么测试的？做电极了吗？

对的，做的电极测试的
赞一下 回复此楼
多数的错与失，是因为不努力、不坚持、不挽留，然后告诉自己一切都是命运！
9楼2014-11-13 13:36:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

julietzhu

银虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by suifeng_muiq at 2014-11-13 13:36:26
对的，做的电极测试的...

做的电极会不会也是影响绝缘性的因素呢？
赞一下 回复此楼
10楼2014-12-06 10:38:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 suifeng_muiq 的主题更新
131/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿211 初试270分 求调剂 +4 谷雨上岸 2026-03-23 5/250 2026-03-23 21:18 by 不惑可乐
[考研] 材料专硕英一数二306 +8 z1z2z3879 2026-03-18 8/400 2026-03-23 20:49 by baobaoye
[基金申请] 请教下大家 2026年国家基金申请是双盲审吗？ +3 lishucheng1 2026-03-22 4/200 2026-03-23 20:48 by god_tian
[考研] 工科0856求调剂 +5 沐析汀汀 2026-03-21 5/250 2026-03-23 17:56 by 海瑟薇-
[考研] 311求调剂 +6 冬十三 2026-03-18 6/300 2026-03-22 20:18 by edmund7
[考研] 求调剂 +6 十三加油 2026-03-21 6/300 2026-03-22 17:00 by i_cooler
[考研] 308求调剂 +3 墨墨漠 2026-03-21 3/150 2026-03-22 16:54 by i_cooler
[考研] 324求调剂 +6 lucky呀呀呀鸭 2026-03-20 6/300 2026-03-22 16:01 by ColorlessPI
[考研] 260求调剂 +3 朱芷琳 2026-03-20 4/200 2026-03-22 15:12 by 朱芷琳
[考研] 生物学调剂 +5 Surekei 2026-03-21 5/250 2026-03-22 14:39 by tcx007
[考研] 354求调剂 +7 Tyoumou 2026-03-18 10/500 2026-03-22 11:11 by 人来盛
[考研] 材料与化工（0856）304求B区调剂 +3 邱gl 2026-03-20 7/350 2026-03-21 19:05 by 15709483992
[考研] 材料工程专硕 348分求调剂 +3 冬辞. 2026-03-17 5/250 2026-03-21 18:47 by 学员8dgXkO
[考研] 一志愿深大，0703化学，总分302，求调剂 +4 七月-七七 2026-03-21 4/200 2026-03-21 18:20 by 学员8dgXkO
[考研] 307求调剂 +3 余意卿 2026-03-18 3/150 2026-03-21 17:31 by ColorlessPI
[考研] 304求调剂 +6 曼殊2266 2026-03-18 6/300 2026-03-21 00:32 by JourneyLucky
[考研] 一志愿西南交通 专硕 材料355 本科双非 求调剂 +5 西南交通专材355 2026-03-19 5/250 2026-03-20 21:10 by JourneyLucky
[考研] 295材料求调剂，一志愿武汉理工085601专硕 +5 Charlieyq 2026-03-19 5/250 2026-03-20 20:35 by JourneyLucky
[考研] 材料学硕318求调剂 +5 February_Feb 2026-03-19 5/250 2026-03-19 23:51 by 23Postgrad
[考研] 考研调剂 +3 淇ya_~ 2026-03-17 5/250 2026-03-17 09:25 by Winj1e
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭