| 查看: 4141 | 回复: 12 | ||||
suifeng_muiq金虫 (小有名气)
|
[求助]
关于磁控溅射SiO2薄膜的绝缘性问题 已有3人参与
|
|||
| 我们在溅射SiO2的时候用的是射频溅射，靶材为2英寸的SiO2. 溅射功率是100w和150w，工作气压是0.1 Pa。然后对SiO2的绝缘性进行测试，发现200 nm，250 nm的二氧化硅的绝缘性不好。300 nm的绝缘性还行，但是要分两次来做150nm+150nm。请教一下如何解决SiO2绝缘性不好的问题。另外，溅射的过程没有通O2，氧气对此有影响吗？求解！ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜材料和器件制备 |
» 猜你喜欢
自荐读博
已经有8人回复
-
投稿Elsevier的杂志（返修），总是在选择OA和subscription界面被踢皮球
已经有8人回复
-
自然科学基金委宣布启动申请书“瘦身提质”行动
已经有4人回复
-
求个博导看看
已经有18人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 通过磁控溅射沉积的Al2O3薄膜，会和盐酸反应吗？
已经有5人回复
- 磁控溅射电阻真空计的问题
已经有24人回复
- 求教磁控溅射镀铝膜发黑的问题
已经有16人回复
- 磁控溅射底座与腔体短路了 怎么解决
已经有9人回复
- 磁控溅射低真空计异常求助
已经有4人回复
- 请教一个关于磁控溅射的问题 在靶材上贴片
已经有16人回复
- 磁控溅射二氧化硅靶材的过程中会有氧产生吗
已经有4人回复
- 直流磁控溅射AZO薄膜为什么方阻总是很大？
已经有10人回复
- 请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？
已经有13人回复
- 磁控溅射台真空度问题
已经有11人回复
- [求助]磁控溅射制备SiN，用的是射频电源，有辉光，但溅射不上
已经有11人回复
- 如何在硅片上长300nm的Si02层
已经有12人回复
- 关于磁控溅射靶材的颗粒
已经有10人回复
- 请教磁控溅射的气压和功率对薄膜质量的作用，谢谢！
已经有20人回复
- 新手求助，磁控溅射，在银上溅射SiO2二氧化硅
已经有15人回复
- 磁控溅射做薄膜失败了吗
已经有21人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题
已经有4人回复
- 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题
已经有14人回复
peterflyer 
木虫之王 (文学泰斗)
peterflyer
- 物理EPI: 1
- 应助: 20282 (院士)
- 金币: 145890
- 红花: 1374
- 帖子: 93089
- 在线: 7693.9小时
- 虫号: 1482829
- 注册: 2011-11-08
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
2楼2014-09-25 14:05:47
peterflyer
木虫之王 (文学泰斗)
peterflyer
- 物理EPI: 1
- 应助: 20282 (院士)
- 金币: 145890
- 红花: 1374
- 帖子: 93089
- 在线: 7693.9小时
- 虫号: 1482829
- 注册: 2011-11-08
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
5楼2014-09-26 17:37:56
7楼2014-10-06 14:24:40
3楼2014-09-25 18:18:22
suifeng_muiq
金虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 1492.3
- 红花: 2
- 帖子: 52
- 在线: 8.7小时
- 虫号: 2317863
- 注册: 2013-03-04
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
4楼2014-09-26 16:51:44
leongoall
专家顾问 (知名作家)
P-M-I之初生牛犊
- 应助: 144 (高中生)
- 贵宾: 0.055
- 金币: 7602.7
- 散金: 627
- 红花: 35
- 沙发: 3
- 帖子: 5347
- 在线: 1063小时
- 虫号: 490263
- 注册: 2008-01-03
- 性别: GG
- 专业: 等离子体物理
- 管辖: 物理
6楼2014-09-27 13:37:37
8楼2014-10-20 15:38:45
suifeng_muiq
金虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 1492.3
- 红花: 2
- 帖子: 52
- 在线: 8.7小时
- 虫号: 2317863
- 注册: 2013-03-04
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
9楼2014-11-13 13:36:26
julietzhu
银虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1834.4
- 散金: 70
- 红花: 3
- 帖子: 247
- 在线: 106.8小时
- 虫号: 932879
- 注册: 2009-12-24
- 性别: MM
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
10楼2014-12-06 10:38:09