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k.zhang821

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[求助] 关于磁控溅射制备Fe2O3 已有2人参与

小虫买了一块氧化铁靶材，用磁控溅射的方式做Fe2O3膜。
溅射过程中通了一点氧，但就是不能得到Fe2O3膜。
有没有虫友做过这方面的工作或者对磁控溅射经验比较丰富，指导一下，万分感谢！

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1楼 2014-06-18 19:50:06

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wbcui

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你使用RF么？
是不是得到的非晶？从xrd上没什么峰？

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2楼2014-06-18 21:09:47

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k.zhang821

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2楼: Originally posted by wbcui at 2014-06-18 21:09:47
你使用RF么？
是不是得到的非晶？从xrd上没什么峰？

是RF。
貌似薄薄的有点东西，但是XRD、RAMAN、XPS都测不到任何Fe有关的物质。

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3楼2014-06-18 22:14:05

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wbcui

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3楼: Originally posted by k.zhang821 at 2014-06-18 23:14:05
是RF。
貌似薄薄的有点东西，但是XRD、RAMAN、XPS都测不到任何Fe有关的物质。...

xrd看不出来可能是因为没有织构，或者根本是非晶
如果拉曼看不出来，可能是没有成为Fe2O3有序相
xps测不到，不知道可能的什么原因了，对xps不是很懂，是不是没有Fe，还是Fe含量很低？

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4楼2014-06-18 22:36:54

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k.zhang821

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4楼: Originally posted by wbcui at 2014-06-18 22:36:54
xrd看不出来可能是因为没有织构，或者根本是非晶
如果拉曼看不出来，可能是没有成为Fe2O3有序相
xps测不到，不知道可能的什么原因了，对xps不是很懂，是不是没有Fe，还是Fe含量很低？...

其实基本上可以确定没有溅射上膜。
就是不知道为什么溅射不上

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5楼2014-06-18 23:05:49

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