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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 关于磁控溅射制备Fe2O3
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k.zhang821

木虫 (正式写手)

[求助] 关于磁控溅射制备Fe2O3 已有2人参与

小虫买了一块氧化铁靶材，用磁控溅射的方式做Fe2O3膜。
溅射过程中通了一点氧，但就是不能得到Fe2O3膜。
有没有虫友做过这方面的工作或者对磁控溅射经验比较丰富，指导一下，万分感谢！
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1楼 2014-06-18 19:50:06
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
你使用RF么？
是不是得到的非晶？从xrd上没什么峰？
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2楼2014-06-18 21:09:47
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k.zhang821

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wbcui at 2014-06-18 21:09:47
你使用RF么？
是不是得到的非晶？从xrd上没什么峰？

是RF。
貌似薄薄的有点东西，但是XRD、RAMAN、XPS都测不到任何Fe有关的物质。
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3楼2014-06-18 22:14:05
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
3楼: Originally posted by k.zhang821 at 2014-06-18 23:14:05
是RF。
貌似薄薄的有点东西，但是XRD、RAMAN、XPS都测不到任何Fe有关的物质。...

xrd看不出来可能是因为没有织构，或者根本是非晶
如果拉曼看不出来，可能是没有成为Fe2O3有序相
xps测不到，不知道可能的什么原因了，对xps不是很懂，是不是没有Fe，还是Fe含量很低？
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4楼2014-06-18 22:36:54
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k.zhang821

木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by wbcui at 2014-06-18 22:36:54
xrd看不出来可能是因为没有织构，或者根本是非晶
如果拉曼看不出来，可能是没有成为Fe2O3有序相
xps测不到，不知道可能的什么原因了，对xps不是很懂，是不是没有Fe，还是Fe含量很低？...

其实基本上可以确定没有溅射上膜。
就是不知道为什么溅射不上
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5楼2014-06-18 23:05:49
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
5楼: Originally posted by k.zhang821 at 2014-06-19 00:05:49
其实基本上可以确定没有溅射上膜。
就是不知道为什么溅射不上...

是不是时间短，还是偏压的问题？
溅射气压多大？
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6楼2014-06-18 23:33:04
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muyangren

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
k.zhang821: 金币+2, ★有帮助 2014-06-23 08:42:12
有没有产生辉光，有可能是本身靶材有铁磁性，没溅射出来
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7楼2014-06-22 13:41:14
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
k.zhang821: 金币+2, ★有帮助 2014-06-23 08:42:01
XPS都测不出来。。那肯定是没Fe了，5nm以下的膜XPS都能清楚看出来的，哈
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8楼2014-06-22 16:09:21
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k.zhang821

木虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by muyangren at 2014-06-22 13:41:14
有没有产生辉光，有可能是本身靶材有铁磁性，没溅射出来

实验室工程师做的实验，我问过，他说偏压、辉光什么的都没问题
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9楼2014-06-23 08:43:17
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muyangren

木虫 (正式写手)
建设时间长一点，看看靶材有没有溅射的轨迹，靶材也测测有没有磁性。氧化铁有两种，一种是有铁磁性的
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10楼2014-06-23 23:30:27
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