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k.zhang821木虫 (正式写手)
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关于磁控溅射制备Fe2O3 已有2人参与
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小虫买了一块氧化铁靶材,用磁控溅射的方式做Fe2O3膜。 溅射过程中通了一点氧,但就是不能得到Fe2O3膜。 有没有虫友做过这方面的工作或者对磁控溅射经验比较丰富,指导一下,万分感谢! |
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