应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 关于磁控溅射制备Fe2O3
51/1返回列表
查看: 1220  |  回复: 12
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

k.zhang821

木虫 (正式写手)

[求助] 关于磁控溅射制备Fe2O3 已有2人参与

小虫买了一块氧化铁靶材，用磁控溅射的方式做Fe2O3膜。
溅射过程中通了一点氧，但就是不能得到Fe2O3膜。
有没有虫友做过这方面的工作或者对磁控溅射经验比较丰富，指导一下，万分感谢！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-06-18 19:50:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
3楼: Originally posted by k.zhang821 at 2014-06-18 23:14:05
是RF。
貌似薄薄的有点东西，但是XRD、RAMAN、XPS都测不到任何Fe有关的物质。...

xrd看不出来可能是因为没有织构，或者根本是非晶
如果拉曼看不出来，可能是没有成为Fe2O3有序相
xps测不到，不知道可能的什么原因了，对xps不是很懂，是不是没有Fe，还是Fe含量很低？
赞一下 回复此楼
4楼2014-06-18 22:36:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答

wbcui

至尊木虫 (知名作家)
你使用RF么？
是不是得到的非晶？从xrd上没什么峰？
赞一下 回复此楼
2楼2014-06-18 21:09:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

k.zhang821

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wbcui at 2014-06-18 21:09:47
你使用RF么？
是不是得到的非晶？从xrd上没什么峰？

是RF。
貌似薄薄的有点东西，但是XRD、RAMAN、XPS都测不到任何Fe有关的物质。
赞一下 回复此楼
3楼2014-06-18 22:14:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

k.zhang821

木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by wbcui at 2014-06-18 22:36:54
xrd看不出来可能是因为没有织构，或者根本是非晶
如果拉曼看不出来，可能是没有成为Fe2O3有序相
xps测不到，不知道可能的什么原因了，对xps不是很懂，是不是没有Fe，还是Fe含量很低？...

其实基本上可以确定没有溅射上膜。
就是不知道为什么溅射不上
赞一下 回复此楼
5楼2014-06-18 23:05:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭