24小时热门版块排行榜    

查看: 2144  |  回复: 15

vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 溅射靶材污染

大家帮看看图片上左下方的 Al 靶是什么情况,怎么会成这个样子,腔体的真空一直很好的,不过有时候会通氧气进去做氧化,难道这是氧化造成的吗?

溅射靶材污染
近期取下的两个溅射靶材,左下方为 Al 靶
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

Target and film

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

phykid

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
氧化铝不是蓝色的吧
2楼2014-06-03 20:17:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

不是蓝色的,不过会不会是很薄的一层膜干涉形成的呢?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
3楼2014-06-03 20:56:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huihui2eat

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你是直接溅射的铝膜,还是充氮气做的氮化铝薄膜呀?我有一个师兄做的这个,是表面靶材发黑,有点类似石墨的东西,不知道是什么情况,同求解哈
4楼2014-07-14 09:02:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

metaliium

银虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by vincentwz at 2014-06-03 20:56:53
不是蓝色的,不过会不会是很薄的一层膜干涉形成的呢?

开玩笑,氧化铝是5纳米尺度的薄膜,比光的波长还小两个数量级,怎么干涉?
5楼2014-07-14 10:37:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by metaliium at 2014-07-14 10:37:30
开玩笑,氧化铝是5纳米尺度的薄膜,比光的波长还小两个数量级,怎么干涉?...

不一定是5nm吧,可能会氧化比较厚啊
6楼2014-07-14 15:49:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

metaliium

银虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by vincentwz at 2014-07-14 15:49:19
不一定是5nm吧,可能会氧化比较厚啊...

不会的,氧化铝薄膜本身是阻止铝和氧接触的,天然只能产生5纳米左右的薄膜。。。以至于技术上想要制造厚的氧化铝薄膜还不是件容易的事情,应该需要用电化学方法。。。
7楼2014-07-15 11:50:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yang-lin

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我觉得还是真空没有抽好,或者管道里有其它气体
把握梦想,成就未来!
8楼2014-07-15 14:26:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by metaliium at 2014-07-15 11:50:42
不会的,氧化铝薄膜本身是阻止铝和氧接触的,天然只能产生5纳米左右的薄膜。。。以至于技术上想要制造厚的氧化铝薄膜还不是件容易的事情,应该需要用电化学方法。。。...

我们制程中会通纯氧进去
9楼2014-07-15 15:52:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by yang-lin at 2014-07-15 14:26:27
我觉得还是真空没有抽好,或者管道里有其它气体

背景真空能到10^-8Torr,已经很好了
10楼2014-07-15 15:54:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 vincentwz 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 今天系统多次维护,明天很可能放榜! +5 zju2000 2026-08-16 5/250 2026-08-16 23:23 by Haru815
[论文投稿] 岩土工程学报什么时候才能终审完呐 25+3 yeager111 2026-08-10 4/200 2026-08-16 20:42 by tfang
[基金申请] 时间戳又变了8-15 +13 archvillain 2026-08-15 25/1250 2026-08-16 20:13 by zhaosm1982
[基金申请] 快农历七夕节了,轻松一下,男人悄悄话,女施主请不要进来。 +3 Tide man 2026-08-14 3/150 2026-08-16 17:47 by jurkat.1640
[基金申请] 我的国基提前知道中了,可是同事的操作让我实在接受不了,怎么会有这样的人 +11 家与远方 2026-08-10 16/800 2026-08-16 10:28 by ray43
[基金申请] 有时候,自然基金真的不能太认真 (我的申报经验) +10 majunge000 2026-08-11 12/600 2026-08-16 08:18 by xli1984
[基金申请] filecode=后面第一个是大写字母 +6 wangze12014 2026-08-14 7/350 2026-08-15 20:12 by gltch
[基金申请] 各位道友,我要去昆明玩几天,回来见。 +7 Tide man 2026-08-14 8/400 2026-08-15 01:11 by arzu_hma
[基金申请] 是这周出结果还是下周出结果? +4 yuleib84 2026-08-11 4/200 2026-08-14 23:05 by lfy8008
[基金申请] 奇怪,两个人的filecode固定段从头到尾一模一样 +8 布布和一二 2026-08-10 11/550 2026-08-14 14:58 by Equinoxhua
[硕博家园] 读博的好处 +4 lnee 2026-08-11 4/200 2026-08-14 10:20 by ahsoarli
[基金申请] filecode +15 documentary 2026-08-10 17/850 2026-08-14 10:08 by kissu88
[基金申请] FileCode能看出啥? +10 要乐观耀哥 2026-08-10 32/1600 2026-08-14 09:37 by 要乐观耀哥
[基金申请] 重要来源:本周末出结果 +10 瞬息宇宙 2026-08-12 10/500 2026-08-13 15:46 by likettle
[基金申请] 不应该看fileCode +7 且听虎啸 2026-08-12 9/450 2026-08-13 14:27 by flydreamws
[基金申请] 帮忙看看fileCode +7 wwncly 2026-08-10 13/650 2026-08-11 19:36 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 为什么网上很多人说本周 12号出结果 +6 瞬息宇宙 2026-08-10 7/350 2026-08-11 19:25 by Tide man
[基金申请] 什么时候出结果,有咨询渠道??? +3 Tide man 2026-08-11 3/150 2026-08-11 17:54 by kudofaye
[基金申请] 确定了,国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
信息提示
请填处理意见