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metaliium

银虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
9楼: Originally posted by vincentwz at 2014-07-15 15:52:12
我们制程中会通纯氧进去...

据我所知,通纯氧也没用,必须用电化学方法。。。

这个很容易理解吧,你铝表面蒸一层金,还能氧化吗?氧化铝很致密,就起到这个隔绝氧气的作用
11楼2014-07-16 08:16:05
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yang-lin

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by vincentwz at 2014-07-15 15:54:01
背景真空能到10^-8Torr,已经很好了...

嗯,管道有提前清洗过吗?还有,检查管道有漏气不
把握梦想,成就未来!
12楼2014-07-16 08:17:00
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Smallpeng

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
是不是有其它气体污染了  真空不好?期待大神解答
勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
13楼2014-07-28 22:06:19
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
13楼: Originally posted by Smallpeng at 2014-07-28 22:06:19
是不是有其它气体污染了  真空不好?期待大神解答

镀其他靶的时候用的相同的管道,都没有问题啊,真空度很好,最高能到10^-9 Torr
14楼2014-07-29 09:19:27
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hbc1234

木虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
刚沉积完的腔室里和靶材上有什么异味吗?会不会是机械泵油的污染?我们的磁控溅射生长的金属氧化物薄膜里总能探测到碳元素
15楼2014-07-29 14:35:48
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NeilDenton

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
左面的靶材,我怀疑是被其它靶枪污染的或者是工艺气体不纯导致的。
16楼2017-04-26 14:18:58
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