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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 溅射靶材污染
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metaliium

银虫 (正式写手)
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9楼: Originally posted by vincentwz at 2014-07-15 15:52:12
我们制程中会通纯氧进去...

据我所知，通纯氧也没用，必须用电化学方法。。。

这个很容易理解吧，你铝表面蒸一层金，还能氧化吗？氧化铝很致密，就起到这个隔绝氧气的作用
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11楼2014-07-16 08:16:05
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yang-lin

木虫 (正式写手)
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10楼: Originally posted by vincentwz at 2014-07-15 15:54:01
背景真空能到10^-8Torr,已经很好了...

嗯，管道有提前清洗过吗？还有，检查管道有漏气不
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把握梦想，成就未来！
12楼2014-07-16 08:17:00
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Smallpeng

木虫 (正式写手)
★
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是不是有其它气体污染了  真空不好？期待大神解答
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勇敢自信踏实，科研其实和生活是一样一样的
13楼2014-07-28 22:06:19
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
13楼: Originally posted by Smallpeng at 2014-07-28 22:06:19
是不是有其它气体污染了  真空不好？期待大神解答

镀其他靶的时候用的相同的管道，都没有问题啊，真空度很好，最高能到10^-9 Torr
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14楼2014-07-29 09:19:27
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hbc1234

木虫 (小有名气)
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刚沉积完的腔室里和靶材上有什么异味吗？会不会是机械泵油的污染？我们的磁控溅射生长的金属氧化物薄膜里总能探测到碳元素
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15楼2014-07-29 14:35:48
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NeilDenton

新虫 (初入文坛)
★
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左面的靶材，我怀疑是被其它靶枪污染的或者是工艺气体不纯导致的。
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16楼2017-04-26 14:18:58
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