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溅射靶材污染
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vincentwz
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溅射靶材污染
大家帮看看图片上左下方的 Al 靶是什么情况,怎么会成这个样子,腔体的真空一直很好的,不过有时候会通氧气进去做氧化,难道这是氧化造成的吗?
近期取下的两个溅射靶材,左下方为 Al 靶
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vincentwz
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13楼
:
Originally posted by
Smallpeng
at 2014-07-28 22:06:19
是不是有其它气体污染了 真空不好?期待大神解答
镀其他靶的时候用的相同的管道,都没有问题啊,真空度很好,最高能到10^-9 Torr
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14楼
2014-07-29 09:19:27
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氧化铝不是蓝色的吧
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2楼
2014-06-03 20:17:00
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vincentwz
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不是蓝色的,不过会不会是很薄的一层膜干涉形成的呢?
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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3楼
2014-06-03 20:56:53
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huihui2eat
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你是直接溅射的铝膜,还是充氮气做的氮化铝薄膜呀?我有一个师兄做的这个,是表面靶材发黑,有点类似石墨的东西,不知道是什么情况,同求解哈
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4楼
2014-07-14 09:02:26
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