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vincentwz铁杆木虫 (著名写手)
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[交流]
溅射靶材污染
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大家帮看看图片上左下方的 Al 靶是什么情况，怎么会成这个样子，腔体的真空一直很好的，不过有时候会通氧气进去做氧化，难道这是氧化造成的吗？ 近期取下的两个溅射靶材，左下方为 Al 靶 |
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