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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 溅射靶材污染

大家帮看看图片上左下方的 Al 靶是什么情况,怎么会成这个样子,腔体的真空一直很好的,不过有时候会通氧气进去做氧化,难道这是氧化造成的吗?

溅射靶材污染
近期取下的两个溅射靶材,左下方为 Al 靶
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by metaliium at 2014-07-14 10:37:30
开玩笑,氧化铝是5纳米尺度的薄膜,比光的波长还小两个数量级,怎么干涉?...

不一定是5nm吧,可能会氧化比较厚啊
6楼2014-07-14 15:49:19
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phykid

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
氧化铝不是蓝色的吧
2楼2014-06-03 20:17:00
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

不是蓝色的,不过会不会是很薄的一层膜干涉形成的呢?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
3楼2014-06-03 20:56:53
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huihui2eat

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你是直接溅射的铝膜,还是充氮气做的氮化铝薄膜呀?我有一个师兄做的这个,是表面靶材发黑,有点类似石墨的东西,不知道是什么情况,同求解哈
4楼2014-07-14 09:02:26
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