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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 如何溅射镍靶
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liaofang20

银虫 (小有名气)

[求助] 如何溅射镍靶 已有3人参与

小妹想用磁控溅射镀镍，但是由于镍导磁，溅射电流加不上去，磁钢已经是磁性最好的那种了。如何是好啊？
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1楼 2014-04-17 11:30:50
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极交流 2014-04-18 07:34:38
liaofang20: 金币+2 2014-04-18 08:42:21
镍导磁，磁场短路而无法起辉。1.靶材减薄。2.提高阴极的磁场强度。
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2楼2014-04-17 12:04:49
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
穿越千年: 本版禁止外链，请理解，可以直接贴出资源或者复制相关文字 2014-04-17 12:57:34
liaofang20: 金币+5, ★有帮助, 能起辉了，但是20分钟后，电流逐渐减小，最后没有电流，不能起辉。不懂为啥？ 2014-04-18 08:58:18
磁控溅射镍膜及其性能的研究
“参考百度文库”
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3楼2014-04-17 12:07:51
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功能薄膜

新虫 (初入文坛)
镀多厚衬底材质是什么？
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4楼2014-04-17 23:28:26
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liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-04-17 12:04:49
镍导磁，磁场短路而无法起辉。1.靶材减薄。2.提高阴极的磁场强度。

已经用的是强磁铁了，靶材厚度已经减到4mm了。
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5楼2014-04-18 08:43:45
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liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 功能薄膜 at 2014-04-17 23:28:26
镀多厚衬底材质是什么？

靶厚4mm，无衬底。
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6楼2014-04-18 08:44:22
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★
liaofang20: 金币+1, ★有帮助, 靶没有问题。 2014-04-19 13:49:13
是否是靶材中毒了？或者密度低气孔率高所导致？
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7楼2014-04-18 10:12:46
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liaofang20

银虫 (小有名气)
问题已解决，多谢大侠们的支持。
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8楼2014-04-19 13:53:13
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lisx2525

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

这个简单，一般Fe, Co,Ni 磁性材料，用强磁场溅射阴极。 如果没有，只有减少Ni 的厚度，如果你厚度减少到1.5mm，还溅射不出来。 只能说明你溅射阴极，是普通磁场的。 需要更换一个强磁场的溅射阴极。 若有任何疑问，请直接联系，lisx2525@163.com 相互交流
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9楼2014-05-28 09:45:21
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ll2013

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
liaofang20: 金币+12, ★★★很有帮助 2014-06-13 10:39:31
电流开不起来，检查下磁场对不对。我在装镍靶的时候，有块磁铁移位了，导致电流开不起来。但是两个靶同时用的时候，一个靶电流高，另一个开不大，开到7、8A就开不起来了，而且不稳定，跳动比较大，不知道怎么回事。
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10楼2014-06-12 08:12:30
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