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liaofang20

银虫 (小有名气)

[求助] 如何溅射镍靶 已有3人参与

小妹想用磁控溅射镀镍,但是由于镍导磁,溅射电流加不上去,磁钢已经是磁性最好的那种了。如何是好啊?
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薄膜制备与特性

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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极交流 2014-04-18 07:34:38
liaofang20: 金币+2 2014-04-18 08:42:21
镍导磁,磁场短路而无法起辉。1.靶材减薄。2.提高阴极的磁场强度。
2楼2014-04-17 12:04:49
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
穿越千年: 本版禁止外链,请理解,可以直接贴出资源或者复制相关文字 2014-04-17 12:57:34
liaofang20: 金币+5, 有帮助, 能起辉了,但是20分钟后,电流逐渐减小,最后没有电流,不能起辉。不懂为啥? 2014-04-18 08:58:18
磁控溅射镍膜及其性能的研究
“参考百度文库”
3楼2014-04-17 12:07:51
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功能薄膜

新虫 (初入文坛)


镀多厚衬底材质是什么?
4楼2014-04-17 23:28:26
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liaofang20

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-04-17 12:04:49
镍导磁,磁场短路而无法起辉。1.靶材减薄。2.提高阴极的磁场强度。

已经用的是强磁铁了,靶材厚度已经减到4mm了。
5楼2014-04-18 08:43:45
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liaofang20

银虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 功能薄膜 at 2014-04-17 23:28:26
镀多厚衬底材质是什么?

靶厚4mm,无衬底。
6楼2014-04-18 08:44:22
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖


liaofang20: 金币+1, 有帮助, 靶没有问题。 2014-04-19 13:49:13
是否是靶材中毒了?或者密度低气孔率高所导致?
7楼2014-04-18 10:12:46
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liaofang20

银虫 (小有名气)

问题已解决,多谢大侠们的支持。
8楼2014-04-19 13:53:13
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lisx2525

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

这个简单,一般Fe, Co,Ni 磁性材料,用强磁场溅射阴极。 如果没有,只有减少Ni 的厚度,如果你厚度减少到1.5mm,还溅射不出来。 只能说明你溅射阴极,是普通磁场的。 需要更换一个强磁场的溅射阴极。 若有任何疑问,请直接联系,lisx2525@163.com 相互交流
9楼2014-05-28 09:45:21
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ll2013

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
liaofang20: 金币+12, ★★★很有帮助 2014-06-13 10:39:31
电流开不起来,检查下磁场对不对。我在装镍靶的时候,有块磁铁移位了,导致电流开不起来。但是两个靶同时用的时候,一个靶电流高,另一个开不大,开到7、8A就开不起来了,而且不稳定,跳动比较大,不知道怎么回事。
10楼2014-06-12 08:12:30
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