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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 基础研究 » 【求助】PVD设备建设镍
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liufei8327

新虫 (小有名气)

[交流] 【求助】PVD设备建设镍 已有5人参与

想请问各位高人，在用PVD设备溅射镍的时候，不能产生辉光放电，是什么原因造成的呢？
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1楼 2010-05-26 09:55:42
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wukeyi28

木虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
yusen_1982(金币+1):欢迎讨论！！！ 2010-05-26 14:47:34
镍多厚 厚了不行的哦
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2楼2010-05-26 10:57:34
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liufei8327

新虫 (小有名气)
4毫米厚的镍靶，不知道是不是我的镍厚了。
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3楼2010-05-26 12:50:44
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yxxie

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我做过磁控溅射镍板是6毫米厚的 感觉不厚
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4楼2010-06-01 16:39:04
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yeminrunqi

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
镍，铁等是非导磁材料，对磁场有阻隔作用。因而，用他们做成靶材，会影响溅射枪的磁场强弱及分布。
通常采用
1. 降低靶材厚度
2. 提高磁场强度（一般不太现实）
3. 溅射过程中的参数调节，参阅巴邢曲线
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5楼2013-06-03 14:21:08
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wydmhy

至尊木虫 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我想首先找不能产生辉光放电的原因吧。偏压是否够？真空度？
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6楼2013-06-05 17:23:51
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