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liufei8327

新虫 (小有名气)

[交流] 【求助】PVD设备建设镍 已有5人参与

想请问各位高人,在用PVD设备溅射镍的时候,不能产生辉光放电,是什么原因造成的呢?
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liufei8327

新虫 (小有名气)

4毫米厚的镍靶,不知道是不是我的镍厚了。
3楼2010-05-26 12:50:44
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wukeyi28

木虫 (小有名气)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
yusen_1982(金币+1):欢迎讨论!!! 2010-05-26 14:47:34
镍多厚 厚了不行的哦
2楼2010-05-26 10:57:34
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yxxie

金虫 (正式写手)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
我做过磁控溅射镍板是6毫米厚的 感觉不厚
4楼2010-06-01 16:39:04
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yeminrunqi

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
镍,铁等是非导磁材料,对磁场有阻隔作用。因而,用他们做成靶材,会影响溅射枪的磁场强弱及分布。
通常采用
1. 降低靶材厚度
2. 提高磁场强度(一般不太现实)
3. 溅射过程中的参数调节,参阅巴邢曲线
5楼2013-06-03 14:21:08
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