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liufei8327

新虫 (小有名气)

[交流] 【求助】PVD设备建设镍 已有5人参与

想请问各位高人,在用PVD设备溅射镍的时候,不能产生辉光放电,是什么原因造成的呢?
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wydmhy

至尊木虫 (职业作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我想首先找不能产生辉光放电的原因吧。偏压是否够?真空度?
6楼2013-06-05 17:23:51
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wukeyi28

木虫 (小有名气)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
yusen_1982(金币+1):欢迎讨论!!! 2010-05-26 14:47:34
镍多厚 厚了不行的哦
2楼2010-05-26 10:57:34
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liufei8327

新虫 (小有名气)

4毫米厚的镍靶,不知道是不是我的镍厚了。
3楼2010-05-26 12:50:44
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yxxie

金虫 (正式写手)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
我做过磁控溅射镍板是6毫米厚的 感觉不厚
4楼2010-06-01 16:39:04
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