24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 1102  |  回复: 3

爱问爱问123

木虫 (小有名气)

[求助] 关于真空度的问题

溅射时先抽到了预定的真空度,通入氩气清洗靶材时真空度就升高,分子泵过载,以前没有这现象,这几天出现了,怎么办?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lelelbom

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
爱问爱问123(zyz666888代发): 金币+1, 感谢应助,欢迎常来! 2013-05-02 17:21:26
爱问爱问123: 金币+1, 多谢了 2013-05-10 08:57:10
爱问爱问123: 金币+3 2013-05-21 21:23:58
我觉得应该是这样的,但为什么你以前没有这个现象,一种可能氩气通入速度过快,分子泵电流和气体质量有关,真空高,流速快,实际抽气量下降,真空低,抽气慢,实际抽气量(质量)多
2楼2013-05-02 16:32:20
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

爱问爱问123

木虫 (小有名气)

最近发现了貌似是机械泵不给力,抽真空抽不动,关掉分子泵以后真空度反而上升了
3楼2013-05-09 17:51:42
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bufanzhong

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 爱问爱问123 at 2013-05-09 17:51:42
最近发现了貌似是机械泵不给力,抽真空抽不动,关掉分子泵以后真空度反而上升了

机械泵不给力也会造成分子泵的过载,还有就是Ar的通气量及真空腔内压强监控都要注意。
4楼2013-07-10 16:43:44
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 爱问爱问123 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 272分材料子求调剂 +36 Loy0361 2026-04-10 47/2350 2026-04-12 02:25 by mfyue2000
[考研] 366求调剂 +7 不知名的小卅 2026-04-11 7/350 2026-04-11 16:45 by PeggyPeng17
[考研] 生物学调剂 可调剂到生物与医药 +8 李政莹 2026-04-06 9/450 2026-04-11 10:36 by wwj2530616
[考研] 材料与化工调剂 +12 否极泰来2026 2026-04-10 13/650 2026-04-11 00:28 by wangjihu
[考研] 一志愿211,化学310分,本科重点双非,求调剂 +23 努力奋斗112 2026-04-08 23/1150 2026-04-10 23:29 by 314126402
[基金申请] 有爆料,一个青年教师卖房得400万,然后换了一个四青帽子 +9 babu2015 2026-04-08 9/450 2026-04-10 11:43 by 苏东坡二世
[考研] 青岛科技大学材料学院,环境学院调剂补录4月10日以前都可以 +3 1青科大。 2026-04-09 5/250 2026-04-10 09:58 by 翩翩一书生
[考研] 材料工程调剂 +12 小刘同学吖吖 2026-04-06 13/650 2026-04-09 17:07 by luoyongfeng
[考研] 一志愿武理车辆 281 求调剂 +5 上岸研究生. 2026-04-07 5/250 2026-04-09 15:56 by only周
[考研] 1U盾记得记得就 +9 sanjin020722 2026-04-08 10/500 2026-04-09 14:11 by 诗与自由
[考研] 求调剂 +7 chenxrlkx 2026-04-05 9/450 2026-04-09 09:04 by wj165256
[考研] 生物学328分求调剂 +9 闪电kkl 2026-04-08 10/500 2026-04-08 21:42 by liuhuiying09
[考研] 机械工程313分找工科调剂 +3 双一流本科机械 2026-04-08 3/150 2026-04-08 20:41 by 土木硕士招生
[考研] 材料专硕(0856) 339分求调剂 +16 哈哈哈鹅哈哈哈 2026-04-05 16/800 2026-04-08 16:02 by luoyongfeng
[考研] 机械工程264学硕求调剂 +3 qiushangxian 2026-04-06 3/150 2026-04-08 01:53 by Linzejun
[考研] 323求调剂 +3 林zlu 2026-04-07 4/200 2026-04-07 23:21 by lbsjt
[考研] 生物学学硕求调剂:351分一志愿南京师范大学生物学专业 +6 …~、王…~ 2026-04-06 7/350 2026-04-06 18:54 by macy2011
[考研] 327求调剂 +4 拾光任染 2026-04-05 4/200 2026-04-05 20:16 by 南航~万老师
[考研] 308求调剂 +3 终不似从前 2026-04-05 3/150 2026-04-05 20:07 by 啵啵啵0119
[考研] 调剂 +3 李广火 2026-04-05 3/150 2026-04-05 18:57 by 蓝云思雨
信息提示
请填处理意见