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爱问爱问123

木虫 (小有名气)

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[求助] 关于真空度的问题

溅射时先抽到了预定的真空度，通入氩气清洗靶材时真空度就升高,分子泵过载,以前没有这现象,这几天出现了,怎么办？

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1楼 2013-05-01 10:57:12

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lelelbom

铁杆木虫 (著名写手)

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【答案】应助回帖

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爱问爱问123(zyz666888代发): 金币+1, 感谢应助，欢迎常来！ 2013-05-02 17:21:26
爱问爱问123: 金币+1, 多谢了 2013-05-10 08:57:10
爱问爱问123: 金币+3 2013-05-21 21:23:58

我觉得应该是这样的，但为什么你以前没有这个现象，一种可能氩气通入速度过快，分子泵电流和气体质量有关，真空高，流速快，实际抽气量下降，真空低，抽气慢，实际抽气量（质量）多