24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 1104  |  回复: 3
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

爱问爱问123

木虫 (小有名气)

[求助] 关于真空度的问题

溅射时先抽到了预定的真空度,通入氩气清洗靶材时真空度就升高,分子泵过载,以前没有这现象,这几天出现了,怎么办?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bufanzhong

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 爱问爱问123 at 2013-05-09 17:51:42
最近发现了貌似是机械泵不给力,抽真空抽不动,关掉分子泵以后真空度反而上升了

机械泵不给力也会造成分子泵的过载,还有就是Ar的通气量及真空腔内压强监控都要注意。
4楼2013-07-10 16:43:44
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 4 个回答

lelelbom

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
爱问爱问123(zyz666888代发): 金币+1, 感谢应助,欢迎常来! 2013-05-02 17:21:26
爱问爱问123: 金币+1, 多谢了 2013-05-10 08:57:10
爱问爱问123: 金币+3 2013-05-21 21:23:58
我觉得应该是这样的,但为什么你以前没有这个现象,一种可能氩气通入速度过快,分子泵电流和气体质量有关,真空高,流速快,实际抽气量下降,真空低,抽气慢,实际抽气量(质量)多
2楼2013-05-02 16:32:20
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

爱问爱问123

木虫 (小有名气)

最近发现了貌似是机械泵不给力,抽真空抽不动,关掉分子泵以后真空度反而上升了
3楼2013-05-09 17:51:42
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 272分材料子求调剂 +36 Loy0361 2026-04-10 47/2350 2026-04-12 02:25 by mfyue2000
[找工作] 山东高校教师考核超级无底线,员工过不下去啦 +4 qut2026 2026-04-09 9/450 2026-04-12 00:54 by qut2026
[考研] 0831一轮调剂失败求助 +6 小熊睿睿_s 2026-04-11 6/300 2026-04-11 23:55 by baobaoye
[考研] 材料工程281还有调剂机会吗 +19 xaw. 2026-04-11 19/950 2026-04-11 23:20 by labixiaoqiao
[考研] 求调剂,985材料与化工348分 +7 涵竹刘 2026-04-11 9/450 2026-04-11 23:13 by 溪涧流水
[考研] 296求调剂 +14 汪!?! 2026-04-08 15/750 2026-04-11 20:28 by dongdian1
[考研] 366求调剂 +7 不知名的小卅 2026-04-11 7/350 2026-04-11 16:45 by PeggyPeng17
[考研] 一志愿东北大学控制工程085406数二英二385,求调剂 +8 Ezra_Zhang 2026-04-09 8/400 2026-04-11 09:15 by 猪会飞
[考研] 材料085601调剂 +25 何润采123 2026-04-10 27/1350 2026-04-10 23:17 by Ftglcn90
[考研] 一志愿北理工298英一数二已上岸,感谢各位老师 +14 Reframe 2026-04-10 16/800 2026-04-10 23:07 by caotw2020
[考研] 一志愿华南理工大学331分材料求调剂 +9 天下ww 2026-04-09 9/450 2026-04-10 22:58 by Ftglcn90
[考研] 277求调剂 +19 倪建设 2026-04-06 19/950 2026-04-10 09:24 by guosr9609
[考研] 301求调剂 +6 静静想想 2026-04-05 6/300 2026-04-10 09:15 by Delta2012
[考研] 材料专硕初试分332一志愿西北工业大学, +12 故人?? 2026-04-09 12/600 2026-04-09 18:34 by Ccclqqq
[论文投稿] 求助文献原文 10+3 18500821399 2026-04-08 3/150 2026-04-09 16:56 by 北京莱茵润色
[考研] 0703化学调剂 348分 +14 唉我超真没招了 2026-04-06 15/750 2026-04-08 19:16 by 我减肥1
[考研] 298求调剂 +4 manman511 2026-04-05 4/200 2026-04-08 16:50 by tjzhao
[考研] 307求调剂 +14 超级伊昂大王 2026-04-06 14/700 2026-04-08 07:03 by 无际的草原
[考研] 325 调剂 +6 QQ小虾 2026-04-07 6/300 2026-04-07 15:17 by Ccclqqq
[考研] 338求调剂 +4 我想上岸ii 2026-04-05 4/200 2026-04-06 21:04 by 木子君1218
信息提示
请填处理意见