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爱问爱问123

木虫 (小有名气)

[求助] 关于真空度的问题

溅射时先抽到了预定的真空度,通入氩气清洗靶材时真空度就升高,分子泵过载,以前没有这现象,这几天出现了,怎么办?
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lelelbom

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
爱问爱问123(zyz666888代发): 金币+1, 感谢应助,欢迎常来! 2013-05-02 17:21:26
爱问爱问123: 金币+1, 多谢了 2013-05-10 08:57:10
爱问爱问123: 金币+3 2013-05-21 21:23:58
我觉得应该是这样的,但为什么你以前没有这个现象,一种可能氩气通入速度过快,分子泵电流和气体质量有关,真空高,流速快,实际抽气量下降,真空低,抽气慢,实际抽气量(质量)多
2楼2013-05-02 16:32:20
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爱问爱问123

木虫 (小有名气)

最近发现了貌似是机械泵不给力,抽真空抽不动,关掉分子泵以后真空度反而上升了
3楼2013-05-09 17:51:42
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bufanzhong

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 爱问爱问123 at 2013-05-09 17:51:42
最近发现了貌似是机械泵不给力,抽真空抽不动,关掉分子泵以后真空度反而上升了

机械泵不给力也会造成分子泵的过载,还有就是Ar的通气量及真空腔内压强监控都要注意。
4楼2013-07-10 16:43:44
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