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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 关于MBE仪器cyro-pump的问题
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mbb15761

新虫 (初入文坛)

[求助] 关于MBE仪器cyro-pump的问题 已有2人参与

想问问大家 MBE维修方面的一些问题 请教下 我们这儿的MBE growth chamber是用cyropump一直pump的。但是cryopump经常涉及到regenerate 的问题。最近我们的MBE在Outgas substrate的时候突然cryopump的温度升高到20K随之growth chamber的真空度也降了一个数量级。compressor的压力一直保持在275psi 左右。问题是，在一个星期前我们刚刚才regenerate过cryopump.请问大家都是怎么regenerate cryopump的。怎么才能判断到底是什么原因使得我们正在加热过程中突然cryopump温度就升高了。十分感谢。
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1楼 2014-01-18 08:10:25
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
突然温度升高？冷却水挂了？你的系统有log file监控报错吗？
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2楼2014-01-18 12:58:45
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mbb15761

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-01-18 12:58:45
突然温度升高？冷却水挂了？你的系统有log file监控报错吗？

你用的是什么公司的MBE？
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3楼2014-01-20 10:28:30
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fpheonixes

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
腔体气压大了，冷泵负荷大了，就会升温的啊。
你说的是一级的温度吗？
二级温度是多少？
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4楼2014-01-20 14:55:22
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mbb15761

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by fpheonixes at 2014-01-20 14:55:22
腔体气压大了，冷泵负荷大了，就会升温的啊。
你说的是一级的温度吗？
二级温度是多少？

我们的这个MBE非常老了，用的是CTI cryo-8 只有一个显示分度的表 不懂您说的一级二级温度
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5楼2014-01-21 13:08:14
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fpheonixes

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我们使用的冷泵有两级温度。
一级温度在10K左右，二级温度在70K。
加热镀膜的过程中，一二级温度都会有所升高，一般会到20/90k。
我不知道你们的机台是怎么样的，一般温度超过40/120K我们才会认为有异常。你可以做个参考。
基本上每周都要进行一次regeneration。这个需要冷泵的配套软件来做。主要是升温到室温，以及清理。
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6楼2014-01-21 13:29:25
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