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关于MBE仪器cyro-pump的问题 已有2人参与
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| 想问问大家 MBE维修方面的一些问题 请教下 我们这儿的MBE growth chamber是用cyropump一直pump的。但是cryopump经常涉及到regenerate 的问题。最近我们的MBE在Outgas substrate的时候突然cryopump的温度升高到20K随之growth chamber的真空度也降了一个数量级。compressor的压力一直保持在275psi 左右。问题是，在一个星期前我们刚刚才regenerate过cryopump.请问大家都是怎么regenerate cryopump的。怎么才能判断到底是什么原因使得我们正在加热过程中突然cryopump温度就升高了。十分感谢。 |
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