| 查看: 1649 | 回复: 5 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[求助]
关于MBE仪器cyro-pump的问题 已有2人参与
|
|||
| 想问问大家 MBE维修方面的一些问题 请教下 我们这儿的MBE growth chamber是用cyropump一直pump的。但是cryopump经常涉及到regenerate 的问题。最近我们的MBE在Outgas substrate的时候突然cryopump的温度升高到20K随之growth chamber的真空度也降了一个数量级。compressor的压力一直保持在275psi 左右。问题是，在一个星期前我们刚刚才regenerate过cryopump.请问大家都是怎么regenerate cryopump的。怎么才能判断到底是什么原因使得我们正在加热过程中突然cryopump温度就升高了。十分感谢。 |
回复此楼» 猜你喜欢
澳大利亚 Murdoch University 全奖博士招生（3个名额）地质化工冶金领域
已经有42人回复
-
欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律
已经有29人回复
-
关于Filecode分析方法
已经有12人回复
-
咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否
已经有11人回复
-
小木虫上这么多卖论文的，真有人买论文么？感觉没必要啊
已经有10人回复
-
阿姨
已经有4人回复
-
一作与独作在应聘高校教师时区别大吗
已经有4人回复
-
静等基金结果
已经有21人回复
-
FileCode能看出啥？
已经有28人回复
-
有时候，自然基金真的不能太认真 （我的申报经验）
已经有6人回复
fpheonixes
金虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 1232.9
- 帖子: 199
- 在线: 38.1小时
- 虫号: 56049
- 注册: 2004-11-29
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
4楼2014-01-20 14:55:22
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
2楼2014-01-18 12:58:45
3楼2014-01-20 10:28:30
5楼2014-01-21 13:08:14
