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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 关于真空度的问题
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爱问爱问123

木虫 (小有名气)

[求助] 关于真空度的问题

溅射时先抽到了预定的真空度，通入氩气清洗靶材时真空度就升高,分子泵过载,以前没有这现象,这几天出现了,怎么办？
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1楼 2013-05-01 10:57:12
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爱问爱问123

木虫 (小有名气)
最近发现了貌似是机械泵不给力，抽真空抽不动，关掉分子泵以后真空度反而上升了
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3楼2013-05-09 17:51:42
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lelelbom

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
爱问爱问123(zyz666888代发): 金币+1, 感谢应助，欢迎常来！ 2013-05-02 17:21:26
爱问爱问123: 金币+1, 多谢了 2013-05-10 08:57:10
爱问爱问123: 金币+3 2013-05-21 21:23:58
我觉得应该是这样的，但为什么你以前没有这个现象，一种可能氩气通入速度过快，分子泵电流和气体质量有关，真空高，流速快，实际抽气量下降，真空低，抽气慢，实际抽气量（质量）多
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2楼2013-05-02 16:32:20
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bufanzhong

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 爱问爱问123 at 2013-05-09 17:51:42
最近发现了貌似是机械泵不给力，抽真空抽不动，关掉分子泵以后真空度反而上升了

机械泵不给力也会造成分子泵的过载，还有就是Ar的通气量及真空腔内压强监控都要注意。
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4楼2013-07-10 16:43:44
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