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hyx8902

银虫 (初入文坛)

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[求助] 关于磁控溅射的一个问题

阴阳极没有接触，保持3mm的距离，加上100-200w的功率，有电流，但是就是不起辉，这是什么原因？

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1楼 2013-11-24 19:08:24

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黄瓜一样冰凉

金虫 (小有名气)

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【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
861960469: 金币+1, 有帮助 2013-11-25 21:36:48

3mm?? 试试将距离提高到5cm以上。

2楼2013-11-24 20:14:35

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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

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【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

按照气体电离放电的Paschen定律，最小击穿电压:
Ud=a*(p*d)/[ln(p*d)+b]。即启辉电压与气压与距离之积呈单变量关系。现在d固定了，那磁控溅射工作室的气压是多少呢？调控一下气压试试吧。

3楼2013-11-25 19:28:38

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