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hyx8902

银虫 (初入文坛)

[求助] 关于磁控溅射的一个问题

阴阳极没有接触,保持3mm的距离,加上100-200w的功率,有电流,但是就是不起辉,这是什么原因?
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黄瓜一样冰凉

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
861960469: 金币+1, 有帮助 2013-11-25 21:36:48
3mm?? 试试将距离提高到5cm以上。
2楼2013-11-24 20:14:35
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
按照气体电离放电的Paschen定律,最小击穿电压:
  Ud=a*(p*d)/[ln(p*d)+b]。即启辉电压与气压与距离之积呈单变量关系。现在d固定了,那磁控溅射工作室的气压是多少呢?调控一下气压试试吧。
3楼2013-11-25 19:28:38
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