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磁控溅射镀氮化钛
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| 用磁控溅射在小钢片上镀氮化钛薄膜为什么用EDS能谱没有钛但是锆的峰却很强，同实验室的人也用同一个磁控溅射和同一个钛靶EDS能谱没有锆是钛。为什么小钢片上的氮化钛会有锆没有钛呢，求大神指导啊！PS：小钢片中不含锆，其他过程也没有引入锆。 |
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