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leifengxiu

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射镀氮化钛

用磁控溅射在小钢片上镀氮化钛薄膜为什么用EDS能谱没有钛但是锆的峰却很强，同实验室的人也用同一个磁控溅射和同一个钛靶EDS能谱没有锆是钛。为什么小钢片上的氮化钛会有锆没有钛呢，求大神指导啊！PS：小钢片中不含锆，其他过程也没有引入锆。
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1楼 2013-09-18 10:45:47
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
leifengxiu: 金币+1, ★有帮助 2013-09-22 10:47:34
建议厚的话几百纳米以上XRD，100nm或者以下XPS，测一下是不是有锆，EDS不是很准，需要其他方法辅助，然后在判定是真有这个东西污染还是因为能谱仪本身的偏移
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2楼2013-09-19 17:23:22
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leifengxiu

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-09-19 17:23:22
建议厚的话几百纳米以上XRD，100nm或者以下XPS，测一下是不是有锆，EDS不是很准，需要其他方法辅助，然后在判定是真有这个东西污染还是因为能谱仪本身的偏移

XRD测过没有锆，但是EDS能谱锆的峰很明显，离钛的峰位置很远。
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3楼2013-09-22 10:42:01
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
3楼: Originally posted by leifengxiu at 2013-09-22 10:42:01
XRD测过没有锆，但是EDS能谱锆的峰很明显，离钛的峰位置很远。...

测下XPS吧，应该能下结论了，有可能锆很少，或者局部性的，或者基底上有，或者就是能谱本身的校准出问题了，能谱数据只能参考。。必须辅助其他技术才能定性的
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4楼2013-09-22 12:15:39
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leifengxiu

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-09-22 12:15:39
测下XPS吧，应该能下结论了，有可能锆很少，或者局部性的，或者基底上有，或者就是能谱本身的校准出问题了，能谱数据只能参考。。必须辅助其他技术才能定性的...

嗯  追被测下XPS，看看是什么结果了。谢谢啊！
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5楼2013-09-24 16:47:12
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