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xiaochenzi

新虫 (初入文坛)

[求助] 电子束热蒸发问题

硅片衬底已刻蚀有图形,我需要在图形的侧面镀上金,所以需要将硅片在电子束样品盘上倾斜放置,我想问一下有没有这样的现成装置来放置硅片,让硅片成一定角度倾斜镀金,要订做这种装置,一般哪里可以呀
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huhuhuhu

铁杆木虫 (著名写手)

大师兄

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
样品架可以自己做啊,没人说一定要衬底水平放,不过你这种方法不见得能达到你想要的目的,

不如用光刻胶阻挡一下不想镀的面,建议用PI,这样最保险
2楼2012-02-28 07:53:32
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wwwhww

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
。。。。。。自己弄个小方块架起来就好了啊。
同上,我觉得比较好的方法还是顶端在做完曝光之后刻蚀,然后不去胶,度完金再liftoff
3楼2012-03-01 08:49:01
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dreamchinaster

木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
最合适的就是自己加工,找个机械加工的点,说明你需要的东西,很快就能加工。

另外不知道蒸镀或溅射用的蒸发舟是否适合你
4楼2012-03-04 10:31:57
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