版块导航: 正在加载中...

客户端APP下载

登录注册

应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜

xiaochenzi

新虫 (初入文坛)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 47
帖子: 3
在线: 4.4小时
虫号: 1412948
注册: 2011-09-22
专业: 半导体电子器件

[求助] 电子束热蒸发问题

硅片衬底已刻蚀有图形，我需要在图形的侧面镀上金，所以需要将硅片在电子束样品盘上倾斜放置，我想问一下有没有这样的现成装置来放置硅片，让硅片成一定角度倾斜镀金，要订做这种装置，一般哪里可以呀

» 猜你喜欢

金属材料论文润色/翻译怎么收费? 已经有136人回复

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

磁控溅射镀氮化钛已经有4人回复
氟化镁薄膜制备已经有3人回复
电子束热蒸发通常沉积金属氧化物已经有7人回复
制备有机太阳能电池的蒸镀金属工艺求解已经有7人回复
求助大家一个关于蒸发器换热效率和过热度关系的问题！已经有8人回复
电子束蒸发生长10nm的Ti 膜已经有8人回复
电子束蒸发硅用什么坩埚啊？已经有11人回复
HW-30A测试样品气敏性能时样品需要做什么处理？已经有5人回复
求助三--五族氮化物（ZnO、GaN、AlN等）LED 电极生长，EL测试问题已经有10人回复
镀3~5微米的金膜已经有12人回复
能否用dmol3中的Hirshfeld analysis-dople计算纳米带的偶极矩？？已经有4人回复
非平衡纳米物理学《Non-Equilibrium Nano-Physics：A Many-Body Approach》已经有60人回复
电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？已经有17人回复
【求助】磁控溅射和电子束蒸发两种方式来镀制金属铬膜，哪种的附着力好一些呢？已经有5人回复
【求助】为什么我的氮化钛（TiN）是黑色的已经有6人回复
加热与蒸发量的计算问题已经有9人回复
【求助】询问DOML3算出的电子态密度图费米能级问题！已经有21人回复
【求助】求助沸点与蒸发热的问题已经有4人回复

1楼2012-02-23 16:57:52

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

huhuhuhu

铁杆木虫 (著名写手)

大师兄

应助: 6 (幼儿园)
金币: 5244.6
红花: 1
帖子: 1465
在线: 101.9小时
虫号: 530
注册: 2003-03-02
性别: GG
专业: 有机高分子功能材料

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

样品架可以自己做啊，没人说一定要衬底水平放，不过你这种方法不见得能达到你想要的目的，

不如用光刻胶阻挡一下不想镀的面，建议用PI，这样最保险

2楼2012-02-28 07:53:32

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

wwwhww

铜虫 (正式写手)

应助: 32 (小学生)
金币: 3340.5
红花: 3
帖子: 372
在线: 492.6小时
虫号: 1474957
注册: 2011-11-03
专业: 力学

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

。。。。。。自己弄个小方块架起来就好了啊。
同上，我觉得比较好的方法还是顶端在做完曝光之后刻蚀，然后不去胶，度完金再liftoff

3楼2012-03-01 08:49:01

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

dreamchinaster

木虫 (著名写手)

应助: 10 (幼儿园)
金币: 2323.5
红花: 5
帖子: 1710
在线: 145.2小时
虫号: 110566
注册: 2005-11-20
性别: GG
专业: 涂料

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

最合适的就是自己加工，找个机械加工的点，说明你需要的东西，很快就能加工。

另外不知道蒸镀或溅射用的蒸发舟是否适合你

赞一下(1人)

4楼2012-03-04 10:31:57

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

相关版块跳转我要订阅楼主 xiaochenzi 的主题更新