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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 电子束热蒸发问题
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xiaochenzi

新虫 (初入文坛)

[求助] 电子束热蒸发问题

硅片衬底已刻蚀有图形，我需要在图形的侧面镀上金，所以需要将硅片在电子束样品盘上倾斜放置，我想问一下有没有这样的现成装置来放置硅片，让硅片成一定角度倾斜镀金，要订做这种装置，一般哪里可以呀
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1楼2012-02-23 16:57:52
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wwwhww

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
。。。。。。自己弄个小方块架起来就好了啊。
同上，我觉得比较好的方法还是顶端在做完曝光之后刻蚀，然后不去胶，度完金再liftoff
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3楼2012-03-01 08:49:01
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huhuhuhu

铁杆木虫 (著名写手)

大师兄

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
样品架可以自己做啊，没人说一定要衬底水平放，不过你这种方法不见得能达到你想要的目的，

不如用光刻胶阻挡一下不想镀的面，建议用PI，这样最保险
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2楼2012-02-28 07:53:32
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dreamchinaster

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
最合适的就是自己加工，找个机械加工的点，说明你需要的东西，很快就能加工。

另外不知道蒸镀或溅射用的蒸发舟是否适合你
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4楼2012-03-04 10:31:57
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