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luzhong_2007

木虫 (小有名气)

[求助] HW-30A测试样品气敏性能时样品需要做什么处理？

我在硅片上镀了一层膜，想测试一下改膜对气敏的灵敏度，用HW-30A或WS-30A仪器测试时是不是只需要在样品上焊上两个电极就可以拿去测了？如果是，电极有什么要求，如电极材料（铂丝？）、如何焊接（直接用电烙铁焊在上面？）？
我是第一次做该测试，哪位大侠可以知道一下，谢谢哈~
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1楼 2012-09-22 21:30:08
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whit

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
luzhong_2007: 金币+10, 博学EPI+1, ★★★★★最佳答案 2012-09-24 11:12:51
ZnO的话应该不用光刻，你做个简陋一点的掩埋板（做成叉指电极状），然后用真空热蒸发、电子束蒸发或溅射等物理技术把金属镀上去做成叉指电极，然后普通接线就可以测试了。
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4楼2012-09-24 09:03:08
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whit

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

薄膜一般需要在表面做一个叉指电极，然后接线测试。
直接在上面焊点电极的话，电阻太大
你的薄膜的导电性怎么样？
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2楼2012-09-24 00:47:04
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luzhong_2007

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by whit at 2012-09-24 00:47:04
薄膜一般需要在表面做一个叉指电极，然后接线测试。
直接在上面焊点电极的话，电阻太大
你的薄膜的导电性怎么样？

我的薄膜的导电性正打算去测试，但查阅文献导电性还是可以的，氧化锌。
做叉指电极是不是需要光刻的？我们实验室没这个条件，请问是否有现成可以买？如果有，买来如何与我的那个薄膜连接？
谢谢哈~
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3楼2012-09-24 06:41:15
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luzhong_2007

木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by whit at 2012-09-24 09:03:08
ZnO的话应该不用光刻，你做个简陋一点的掩埋板（做成叉指电极状），然后用真空热蒸发、电子束蒸发或溅射等物理技术把金属镀上去做成叉指电极，然后普通接线就可以测试了。

好的，我试试，如果还有什么问题再来问你，谢谢哈~
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5楼2012-09-24 11:12:32
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luzhong_2007

木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by whit at 2012-09-24 09:03:08
ZnO的话应该不用光刻，你做个简陋一点的掩埋板（做成叉指电极状），然后用真空热蒸发、电子束蒸发或溅射等物理技术把金属镀上去做成叉指电极，然后普通接线就可以测试了。

大侠，你好，我再请教一下，那个样品尺寸是大点好还是小点好？我约10*10mm硅片上镀膜，在热蒸发镀上铟叉指电极不知道可不可以？不知道用铟材料可否？谢谢哈~
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6楼2012-09-24 18:27:56
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