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luzhong_2007

木虫 (小有名气)

[求助] HW-30A测试样品气敏性能时样品需要做什么处理?

我在硅片上镀了一层膜,想测试一下改膜对气敏的灵敏度,用HW-30A或WS-30A仪器测试时是不是只需要在样品上焊上两个电极就可以拿去测了?如果是,电极有什么要求,如电极材料(铂丝?)、如何焊接(直接用电烙铁焊在上面?)?
我是第一次做该测试,哪位大侠可以知道一下,谢谢哈~

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whit

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

薄膜一般需要在表面做一个叉指电极,然后接线测试。
直接在上面焊点电极的话,电阻太大
你的薄膜的导电性怎么样?
2楼2012-09-24 00:47:04
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luzhong_2007

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by whit at 2012-09-24 00:47:04
薄膜一般需要在表面做一个叉指电极,然后接线测试。
直接在上面焊点电极的话,电阻太大
你的薄膜的导电性怎么样?

我的薄膜的导电性正打算去测试,但查阅文献导电性还是可以的,氧化锌。
做叉指电极是不是需要光刻的?我们实验室没这个条件,请问是否有现成可以买?如果有,买来如何与我的那个薄膜连接?
谢谢哈~
3楼2012-09-24 06:41:15
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whit

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
luzhong_2007: 金币+10, 博学EPI+1, ★★★★★最佳答案 2012-09-24 11:12:51
ZnO的话应该不用光刻,你做个简陋一点的掩埋板(做成叉指电极状),然后用真空热蒸发、电子束蒸发或溅射等物理技术把金属镀上去做成叉指电极,然后普通接线就可以测试了。
4楼2012-09-24 09:03:08
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luzhong_2007

木虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by whit at 2012-09-24 09:03:08
ZnO的话应该不用光刻,你做个简陋一点的掩埋板(做成叉指电极状),然后用真空热蒸发、电子束蒸发或溅射等物理技术把金属镀上去做成叉指电极,然后普通接线就可以测试了。

好的,我试试,如果还有什么问题再来问你,谢谢哈~
5楼2012-09-24 11:12:32
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luzhong_2007

木虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by whit at 2012-09-24 09:03:08
ZnO的话应该不用光刻,你做个简陋一点的掩埋板(做成叉指电极状),然后用真空热蒸发、电子束蒸发或溅射等物理技术把金属镀上去做成叉指电极,然后普通接线就可以测试了。

大侠,你好,我再请教一下,那个样品尺寸是大点好还是小点好?我约10*10mm硅片上镀膜,在热蒸发镀上铟叉指电极不知道可不可以?不知道用铟材料可否?谢谢哈~
6楼2012-09-24 18:27:56
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