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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 电子束蒸发硅用什么坩埚啊？
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powerdoctor

新虫 (初入文坛)

[求助] 电子束蒸发硅用什么坩埚啊？

石墨，铜，钢，还是钼啊？
具体蒸发时注意什么啊？
谢谢各位了！
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1楼 2012-10-26 19:53:26
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
powerdoctor: 金币+1, ★有帮助 2012-10-28 09:58:36
蒸发硅？头回听说，比较好奇
为啥不做多晶硅，PECVD？
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2楼2012-10-27 23:57:51
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gladiater

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 金币+1, 欢迎积极交流 2012-10-29 07:34:51
powerdoctor: 金币+3, ★★★很有帮助, 非常感谢 2012-10-29 13:44:26
水冷铜坩埚最好，如果电子枪功率小的话，可以考虑热锅蒸发，耐温高的材料，陶瓷金属应该都可以考虑。
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4楼2012-10-28 21:01:39
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普通回帖

powerdoctor

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-10-27 23:57:51
蒸发硅？头回听说，比较好奇
为啥不做多晶硅，PECVD？

用于锂电负极材料的，实验室有电子束蒸发设备，所以就想到这个方法了，但是不知道具体怎么样。
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3楼2012-10-28 09:59:56
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gladiater

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

水冷铜坩埚最好，如果电子枪功率小的话，可以考虑热锅蒸发，耐温高的材料，陶瓷金属应该都可以考虑。
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5楼2012-10-28 21:20:05
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by powerdoctor at 2012-10-28 09:59:56
用于锂电负极材料的，实验室有电子束蒸发设备，所以就想到这个方法了，但是不知道具体怎么样。...

这样啊，估计成本真不一定比到外面做PECVD便宜。
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6楼2012-10-29 13:30:56
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powerdoctor

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2012-10-29 13:30:56
这样啊，估计成本真不一定比到外面做PECVD便宜。...

现在还没想到成本，先做出性能再说吧。
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7楼2012-10-29 13:46:41
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powerdoctor

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by gladiater at 2012-10-28 21:01:39
水冷铜坩埚最好，如果电子枪功率小的话，可以考虑热锅蒸发，耐温高的材料，陶瓷金属应该都可以考虑。

恩，那我就用铜坩埚去蒸发了，谢谢了。虫友是否就做蒸发，溅射之类的啊？以后有问题要多请教你了。
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8楼2012-10-29 13:49:34
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chengqiankk

银虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by powerdoctor at 2012-10-29 13:49:34
恩，那我就用铜坩埚去蒸发了，谢谢了。虫友是否就做蒸发，溅射之类的啊？以后有问题要多请教你了。...

请问，像电子束蒸镀Cr这样熔点在1800多度，用铜坩埚能行么？？？（铜的熔点在1000度多）
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精于心，简于形
9楼2013-10-18 17:30:12
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xiehaimei515

金虫 (正式写手)
蒸发的硅颗粒大概是多大呢？
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加油
10楼2014-02-27 09:02:38
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