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powerdoctor

新虫 (初入文坛)

[求助] 电子束蒸发硅用什么坩埚啊?

石墨,铜,钢,还是钼啊?
具体蒸发时注意什么啊?
谢谢各位了!
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powerdoctor

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2012-10-29 13:30:56
这样啊,估计成本真不一定比到外面做PECVD便宜。...

现在还没想到成本,先做出性能再说吧。
7楼2012-10-29 13:46:41
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
powerdoctor: 金币+1, 有帮助 2012-10-28 09:58:36
蒸发硅?头回听说,比较好奇
为啥不做多晶硅,PECVD?
2楼2012-10-27 23:57:51
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powerdoctor

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-10-27 23:57:51
蒸发硅?头回听说,比较好奇
为啥不做多晶硅,PECVD?

用于锂电负极材料的,实验室有电子束蒸发设备,所以就想到这个方法了,但是不知道具体怎么样。
3楼2012-10-28 09:59:56
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gladiater

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
chemlh: 金币+1, 欢迎积极交流 2012-10-29 07:34:51
powerdoctor: 金币+3, ★★★很有帮助, 非常感谢 2012-10-29 13:44:26
水冷铜坩埚最好,如果电子枪功率小的话,可以考虑热锅蒸发,耐温高的材料,陶瓷金属应该都可以考虑。
4楼2012-10-28 21:01:39
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