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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 电子束蒸发生长10nm的Ti 膜
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cestbon

铜虫 (初入文坛)

[求助] 电子束蒸发生长10nm的Ti 膜

如题，请问用电子束蒸发可以生长出10nm的Ti 膜吗？可以成连续膜否？以前有人长过吗？怎么测量厚度呢？
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1楼 2012-11-20 15:46:38
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
标记一下，以前没关心过
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2楼2012-11-20 17:27:39
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Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
磁控溅射都可能，那电子束蒸发更没有问题了。现在的设备上，都装配有石英微晶天平，可能控制薄膜厚度。
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Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
3楼2012-11-20 20:31:50
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dzcl11

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
没问题的。我做过金的，在4个纳米左右就开始成膜了
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4楼2012-11-21 15:02:02
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kurtvac

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
电子束蒸发设备可以实现，但是要做10nm的厚度并保证均匀性和重复性也不容易，需要你的设备配置有高精度膜厚控制仪（晶控），并且与电子枪功率及挡板的联动控制要匹配得当，包括对蒸发速率的控制，另外如果样品尺寸较大，那么蒸发距离（靶基距）也要调整得当，必要时候还需要加装修正挡板，这都是需要实验积累的数据，每台镀膜设备的使用工况都不会完全相同，需要在使用中不断积累数据，然后修正，才能做出高质量的样品。http://www.kurtvac.com/
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沈阳科特真空
5楼2012-11-21 15:50:52
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cestbon

铜虫 (初入文坛)
谢谢，各位！
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6楼2012-11-29 11:32:07
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lvyiyilv

木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

这个是很成熟的工艺了。没有问题
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7楼2012-11-29 13:00:05
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tanhongwei

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

长Ti是没问题的。
我也想问一下大家电子束蒸发可以长铝吗？我长的铝第一次还好，是白色的，和铂衬底一样颜色，但是后来长得就是发黄了，不知道为什么？有谁知道怎么才能长好铝呢？
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我爱物理
8楼2012-12-11 09:25:48
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shiran57

新虫 (初入文坛)
楼主在哪做的电子束蒸发呢？
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寻找心中的喜乐
9楼2014-06-30 09:49:00
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