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cestbon

铜虫 (初入文坛)

[求助] 电子束蒸发生长10nm的Ti 膜

如题,请问用电子束蒸发可以生长出10nm的Ti 膜吗?可以成连续膜否?以前有人长过吗?怎么测量厚度呢?
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tanhongwei

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

长Ti是没问题的。
我也想问一下大家电子束蒸发可以长铝吗?我长的铝第一次还好,是白色的,和铂衬底一样颜色,但是后来长得就是发黄了,不知道为什么?有谁知道怎么才能长好铝呢?
我爱物理
8楼2012-12-11 09:25:48
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