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cestbon

铜虫 (初入文坛)

[求助] 电子束蒸发生长10nm的Ti 膜

如题,请问用电子束蒸发可以生长出10nm的Ti 膜吗?可以成连续膜否?以前有人长过吗?怎么测量厚度呢?
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lvyiyilv

木虫 (职业作家)


【答案】应助回帖

这个是很成熟的工艺了。没有问题
7楼2012-11-29 13:00:05
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


标记一下,以前没关心过
2楼2012-11-20 17:27:39
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Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
磁控溅射都可能,那电子束蒸发更没有问题了。现在的设备上,都装配有石英微晶天平,可能控制薄膜厚度。
Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
3楼2012-11-20 20:31:50
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dzcl11

铜虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
没问题的。我做过金的,在4个纳米左右就开始成膜了
4楼2012-11-21 15:02:02
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