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zxintai

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[求助] 怎样清洁磁控溅射仪的溅射腔？

磁控溅射仪在溅射过程中的溅射功率不稳定，反射经常大于正射。溅射功率源和匹配器厂家说是因为溅射腔太脏。因为没有清理过溅射腔，请问具体步骤是怎样的？

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1楼2013-10-17 17:08:12

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zxintai

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谢谢回复，不过好像还不是太明白，正在对着结构图看。。

2楼2013-10-18 11:07:35

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