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怎样清洁磁控溅射仪的溅射腔？
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| 磁控溅射仪在溅射过程中的溅射功率不稳定，反射经常大于正射。溅射功率源和匹配器厂家说是因为溅射腔太脏。因为没有清理过溅射腔，请问具体步骤是怎样的？ |
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2楼2013-10-18 11:07:35