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zxintai

铜虫 (初入文坛)

[求助] 怎样清洁磁控溅射仪的溅射腔?

磁控溅射仪在溅射过程中的溅射功率不稳定,反射经常大于正射。溅射功率源和匹配器厂家说是因为溅射腔太脏。因为没有清理过溅射腔,请问具体步骤是怎样的?
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zxintai

铜虫 (初入文坛)

谢谢回复,不过好像还不是太明白,正在对着结构图看。。
2楼2013-10-18 11:07:35
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