版块导航: 正在加载中...

客户端APP下载

登录注册

应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜

zxintai

铜虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 50.9
帖子: 23
在线: 34.1小时
虫号: 514395
注册: 2008-02-29
专业: 基础物理学

[求助] 怎样清洁磁控溅射仪的溅射腔？

磁控溅射仪在溅射过程中的溅射功率不稳定，反射经常大于正射。溅射功率源和匹配器厂家说是因为溅射腔太脏。因为没有清理过溅射腔，请问具体步骤是怎样的？

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

磁控溅射可以连续溅射多久，以及氧化铪工艺已经有12人回复
磁控溅射叉指电极制作方案中遇到的问题已经有14人回复
磁控溅射电源问题已经有11人回复
关于金属靶磁控溅射问题已经有13人回复
在有机物薄膜上磁控溅射金属电极的问题已经有5人回复
反应磁控溅射相关文献已经有3人回复
磁控溅射台真空度问题已经有11人回复
磁控溅射设备真空问题已经有12人回复
磁控溅射腔室内的铝靶变质了急！急！急！已经有6人回复
求助关于磁控溅射清洗方面的问题~~~急急急已经有10人回复
大家有谁使用磁控溅射镀过Nb2O5的吗？已经有6人回复
求助关于磁控溅射的问题已经有29人回复
磁控溅射与反应磁控溅射已经有18人回复
请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？已经有22人回复
直流磁控溅射镀膜总是被氧化已经有42人回复
电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？已经有17人回复
【求助】磁控反应溅射一短时间后怎么老是腔里面会怕的一声响已经有7人回复
【求助】求助：磁控溅射问题已经有20人回复
【求助】磁控溅射仪相关已经有8人回复

1楼2013-10-17 17:08:12

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

zxintai

铜虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 50.9
帖子: 23
在线: 34.1小时
虫号: 514395
注册: 2008-02-29
专业: 基础物理学

谢谢回复，不过好像还不是太明白，正在对着结构图看。。

2楼2013-10-18 11:07:35

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

相关版块跳转我要订阅楼主 zxintai 的主题更新