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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 成型与控制 » 怎样清洁磁控溅射仪的溅射腔？
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zxintai

铜虫 (初入文坛)

[求助] 怎样清洁磁控溅射仪的溅射腔？

磁控溅射仪在溅射过程中的溅射功率不稳定，反射经常大于正射。溅射功率源和匹配器厂家说是因为溅射腔太脏。因为没有清理过溅射腔，请问具体步骤是怎样的？
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1楼 2013-10-17 17:08:12
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zxintai

铜虫 (初入文坛)
谢谢回复，不过好像还不是太明白，正在对着结构图看。。
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2楼2013-10-18 11:07:35
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