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jsczlwl

木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射镀膜

磁控溅射镀膜，先镀铬，在镀钛，最后镀银，刚开始镀上的膜附着力很好，但是摆放时间长了，膜的附着力就降低了，这是为什么？请大家从基本理论上给一些研究思路。
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若我离去，后会无期！
1楼 2013-10-03 22:29:32
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
jsczlwl: 金币+5, ★有帮助 2013-10-09 22:59:42
不确定原因，只是两点想法:
1. 各层膜之间是不是较好的附着
2. 会不会和应力有关，镀膜的时候由于沉积参数的关系致使薄膜的残余应力较大，时间长了应力释放就导致薄膜脱落

另外楼主说的时间长了是多长？溅渡时是原位吗，会不会在薄膜之间引入杂质或者氧化层？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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2楼2013-10-04 14:14:56
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思凡的沙弥

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
jsczlwl: 金币+5, ★有帮助 2013-10-09 23:03:43
ls说的不错，另外还需要问lz各层的厚度选择，如果很薄质量要求很高，建议用MOCVD
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3楼2013-10-05 12:19:21
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jsczlwl

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by vincentwz at 2013-10-04 14:14:56
不确定原因，只是两点想法:
1. 各层膜之间是不是较好的附着
2. 会不会和应力有关，镀膜的时候由于沉积参数的关系致使薄膜的残余应力较大，时间长了应力释放就导致薄膜脱落

另外楼主说的时间长了是多长？溅渡时 ...

一般放3周左右就不行了。请问对于这种情况可以用热处理的方法的释放应力吗？溅射是原味的，应该不会有杂志的。
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若我离去，后会无期！
4楼2013-10-09 23:01:30
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jsczlwl

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 思凡的沙弥 at 2013-10-05 12:19:21
ls说的不错，另外还需要问lz各层的厚度选择，如果很薄质量要求很高，建议用MOCVD

膜的厚度不同会造成什么影响呢？有什么准则吗？学校只有pvd，没有别的，所以暂时只能用这个。
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若我离去，后会无期！
5楼2013-10-09 23:03:36
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