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磁控溅射镀膜
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jsczlwl
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注册: 2010-11-23
性别: GG
专业: 金属材料
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磁控溅射镀膜
磁控溅射镀膜,先镀铬,在镀钛,最后镀银,刚开始镀上的膜附着力很好,但是摆放时间长了,膜的附着力就降低了,这是为什么?请大家从基本理论上给一些研究思路。
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若我离去,后会无期!
1楼
2013-10-03 22:29:32
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vincentwz
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注册: 2008-11-04
专业: 物理电子学
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
jsczlwl: 金币+5,
★
有帮助
2013-10-09 22:59:42
不确定原因,只是两点想法:
1. 各层膜之间是不是较好的附着
2. 会不会和应力有关,镀膜的时候由于沉积参数的关系致使薄膜的残余应力较大,时间长了应力释放就导致薄膜脱落
另外楼主说的时间长了是多长?溅渡时是原位吗,会不会在薄膜之间引入杂质或者氧化层?
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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2楼
2013-10-04 14:14:56
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