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miaobotong

铜虫 (小有名气)

[交流] 请问磁控溅射镀多元素化合物膜要用什么靶? 已有2人参与

用磁控溅射镀膜,镀多元素化合物的膜要怎么镀?是用单化合物的靶吗?那么如何保证每种元素在化合物膜中的比例?或者用什么方法镀膜?
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
搞得跟国家安全局破案似的,就不能具体说出来什么化合物需要什么成分比啊?这也会透露你课题组机密?!

你这样只说了个大概,别人也只能给个大概啊!
趁年轻,多折腾!曾年轻,折腾过?!
5楼2013-05-06 00:58:11
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zeiss

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
最好是买化合物靶材,这样镀出来的化学计量比可能和靶材有差异,但是差的不多。可以再测试下元素以确认。
采用共溅的方法不是很好控制,我自己就试过,很难控制到所需的元素比例。
祝楼主顺利!
什么都没意思就真没意思了
2楼2013-05-05 13:02:40
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miaobotong

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zeiss at 2013-05-05 13:02:40
最好是买化合物靶材,这样镀出来的化学计量比可能和靶材有差异,但是差的不多。可以再测试下元素以确认。
采用共溅的方法不是很好控制,我自己就试过,很难控制到所需的元素比例。
祝楼主顺利!

如果用共设的方法如何控制比例?
3楼2013-05-05 16:17:33
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miaobotong

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zeiss at 2013-05-05 13:02:40
最好是买化合物靶材,这样镀出来的化学计量比可能和靶材有差异,但是差的不多。可以再测试下元素以确认。
采用共溅的方法不是很好控制,我自己就试过,很难控制到所需的元素比例。
祝楼主顺利!

另外,请问磁控溅射一般薄膜厚度和溅射功率、溅射电流等有什么具体的关系?比如多大功率对应多厚的膜之类的?
4楼2013-05-05 16:21:54
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