| 查看: 958 | 回复: 4 | ||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||||
miaobotong铜虫 (小有名气)
|
[交流]
请问磁控溅射镀多元素化合物膜要用什么靶？ 已有2人参与
|
|||
| 用磁控溅射镀膜，镀多元素化合物的膜要怎么镀？是用单化合物的靶吗？那么如何保证每种元素在化合物膜中的比例？或者用什么方法镀膜？ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 磁控溅射靶材资料大全 |
» 猜你喜欢
建议基金发布提前给出明确的时间点
已经有13人回复
-
2026国自然函评费到账
已经有7人回复
-
今日不放榜？网传国自然预计 8 月 27 日可查结果
已经有20人回复
-
科研孤儿太难了
已经有18人回复
-
看来今天不会放榜了？
已经有11人回复
-
时间戳又变了
已经有19人回复
-
filecode，4个jtjc了
已经有14人回复
-
让我中一个面上吧！
已经有13人回复
-
人气不行了
已经有7人回复
-
感觉是下周放榜了
已经有12人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射中的双靶共溅射，如何通过调整两个靶材的溅射功率控制掺杂量？
已经有20人回复
- 磁控溅射镀镍，出现起辉两分钟后，自动电压、电流跳零，这是为什么？
已经有6人回复
- 磁控溅射换靶材之后功率变化很大？
已经有8人回复
- 关于磁控溅射靶材的颗粒
已经有10人回复
- 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银
已经有15人回复
- 射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题
已经有10人回复
- 请教磁控溅射的气压和功率对薄膜质量的作用，谢谢！
已经有20人回复
- 求助：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？
已经有9人回复
- 磁控溅射镀BFO，峰的位置对不上是什么原因？
已经有9人回复
- 射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？
已经有5人回复
- 射频磁控溅射镀膜都可以通入哪些气体
已经有11人回复
- 磁控溅射镀ZnO，大家真空度一般抽到多少？
已经有18人回复
- 求助：磁控溅射镀金属膜，镀不上去
已经有4人回复
- 请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？
已经有22人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？
已经有17人回复
- 磁控溅射镀氧化铝
已经有35人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 【求助】磁控溅射靶材与衬底的距离
已经有20人回复
leongoall
专家顾问 (知名作家)
P-M-I之初生牛犊
- 应助: 144 (高中生)
- 贵宾: 0.055
- 金币: 7602.7
- 散金: 627
- 红花: 35
- 沙发: 3
- 帖子: 5347
- 在线: 1063小时
- 虫号: 490263
- 注册: 2008-01-03
- 性别: GG
- 专业: 等离子体物理
- 管辖: 物理
5楼2013-05-06 00:58:11
2楼2013-05-05 13:02:40
miaobotong
铜虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 81
- 散金: 3
- 帖子: 87
- 在线: 16.8小时
- 虫号: 1743921
- 注册: 2012-04-08
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2013-05-05 16:17:33
miaobotong
铜虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 81
- 散金: 3
- 帖子: 87
- 在线: 16.8小时
- 虫号: 1743921
- 注册: 2012-04-08
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
4楼2013-05-05 16:21:54
40