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miaobotong铜虫 (小有名气)
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请问磁控溅射镀多元素化合物膜要用什么靶? 已有2人参与
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| 用磁控溅射镀膜,镀多元素化合物的膜要怎么镀?是用单化合物的靶吗?那么如何保证每种元素在化合物膜中的比例?或者用什么方法镀膜? |
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2楼2013-05-05 13:02:40
miaobotong
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