应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 请问磁控溅射镀多元素化合物膜要用什么靶？
51/1返回列表
查看: 1037  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

miaobotong

铜虫 (小有名气)

[交流] 请问磁控溅射镀多元素化合物膜要用什么靶？ 已有2人参与

用磁控溅射镀膜，镀多元素化合物的膜要怎么镀？是用单化合物的靶吗？那么如何保证每种元素在化合物膜中的比例？或者用什么方法镀膜？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-05-05 09:11:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

miaobotong

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zeiss at 2013-05-05 13:02:40
最好是买化合物靶材，这样镀出来的化学计量比可能和靶材有差异，但是差的不多。可以再测试下元素以确认。
采用共溅的方法不是很好控制，我自己就试过，很难控制到所需的元素比例。
祝楼主顺利!

如果用共设的方法如何控制比例？
赞一下 回复此楼
3楼2013-05-05 16:17:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

zeiss

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
最好是买化合物靶材，这样镀出来的化学计量比可能和靶材有差异，但是差的不多。可以再测试下元素以确认。
采用共溅的方法不是很好控制，我自己就试过，很难控制到所需的元素比例。
祝楼主顺利!
赞一下 回复此楼
什么都没意思就真没意思了
2楼2013-05-05 13:02:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

miaobotong

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zeiss at 2013-05-05 13:02:40
最好是买化合物靶材，这样镀出来的化学计量比可能和靶材有差异，但是差的不多。可以再测试下元素以确认。
采用共溅的方法不是很好控制，我自己就试过，很难控制到所需的元素比例。
祝楼主顺利!

另外，请问磁控溅射一般薄膜厚度和溅射功率、溅射电流等有什么具体的关系？比如多大功率对应多厚的膜之类的？
赞一下 回复此楼
4楼2013-05-05 16:21:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
搞得跟国家安全局破案似的，就不能具体说出来什么化合物需要什么成分比啊？这也会透露你课题组机密？！

你这样只说了个大概，别人也只能给个大概啊！
赞一下 回复此楼
趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
5楼2013-05-06 00:58:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 1uaZt2kAZj2S 2026-10-30 16/800 2026-11-02 05:47 by xzcv0Tehd8lQ
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 1uaZt2kAZj2S 2026-10-30 21/1050 2026-11-02 05:41 by xzcv0Tehd8lQ
[论文投稿] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 1uaZt2kAZj2S 2026-10-30 14/700 2026-11-02 05:41 by xzcv0Tehd8lQ
[博后之家] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 1uaZt2kAZj2S 2026-10-30 18/900 2026-11-02 05:37 by xzcv0Tehd8lQ
[硕博家园] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 hKe7U1kad5Sg 2026-10-31 6/300 2026-11-02 03:37 by xzcv0Tehd8lQ
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 hKe7U1kad5Sg 2026-10-31 9/450 2026-11-02 03:26 by xzcv0Tehd8lQ
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 hKe7U1kad5Sg 2026-10-31 8/400 2026-11-02 03:24 by xzcv0Tehd8lQ
[找工作] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +5 1uaZt2kAZj2S 2026-10-31 9/450 2026-11-02 03:05 by xzcv0Tehd8lQ
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 hKe7U1kad5Sg 2026-10-31 6/300 2026-11-01 22:27 by xzcv0Tehd8lQ
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 hKe7U1kad5Sg 2026-10-31 5/250 2026-11-01 22:24 by xzcv0Tehd8lQ
[考博] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 xvJS1BYDxvBS 2026-10-31 7/350 2026-11-01 22:01 by xzcv0Tehd8lQ
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 xvJS1BYDxvBS 2026-10-31 10/500 2026-11-01 21:52 by xzcv0Tehd8lQ
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +4 1uaZt2kAZj2S 2026-10-30 11/550 2026-11-01 21:35 by xzcv0Tehd8lQ
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 1uaZt2kAZj2S 2026-10-30 8/400 2026-11-01 21:35 by xzcv0Tehd8lQ
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 1uaZt2kAZj2S 2026-10-30 15/750 2026-11-01 16:52 by BCdvBAEpt3zm
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 xvJS1BYDxvBS 2026-10-31 5/250 2026-11-01 12:51 by BCdvBAEpt3zm
[考博] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 1uaZt2kAZj2S 2026-10-30 10/500 2026-11-01 12:27 by BCdvBAEpt3zm
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 X5bHxOULxFqb 2026-10-30 18/900 2026-11-01 12:11 by BCdvBAEpt3zm
[论文投稿] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 1uaZt2kAZj2S 2026-10-31 8/400 2026-11-01 03:59 by YXM1FDCSE8Bn
[考博] 2027博士申请-临床检验诊断学、病原生物学、微生物方向 50+3 yyh@ 2026-10-28 4/200 2026-10-31 12:47 by 可淡不可忘
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭