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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 请问磁控溅射镀多元素化合物膜要用什么靶？
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miaobotong

铜虫 (小有名气)

[交流] 请问磁控溅射镀多元素化合物膜要用什么靶？ 已有2人参与

用磁控溅射镀膜，镀多元素化合物的膜要怎么镀？是用单化合物的靶吗？那么如何保证每种元素在化合物膜中的比例？或者用什么方法镀膜？
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1楼 2013-05-05 09:11:07
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zeiss

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
最好是买化合物靶材，这样镀出来的化学计量比可能和靶材有差异，但是差的不多。可以再测试下元素以确认。
采用共溅的方法不是很好控制，我自己就试过，很难控制到所需的元素比例。
祝楼主顺利!
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什么都没意思就真没意思了
2楼2013-05-05 13:02:40
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miaobotong

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zeiss at 2013-05-05 13:02:40
最好是买化合物靶材，这样镀出来的化学计量比可能和靶材有差异，但是差的不多。可以再测试下元素以确认。
采用共溅的方法不是很好控制，我自己就试过，很难控制到所需的元素比例。
祝楼主顺利!

如果用共设的方法如何控制比例？
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3楼2013-05-05 16:17:33
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miaobotong

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zeiss at 2013-05-05 13:02:40
最好是买化合物靶材，这样镀出来的化学计量比可能和靶材有差异，但是差的不多。可以再测试下元素以确认。
采用共溅的方法不是很好控制，我自己就试过，很难控制到所需的元素比例。
祝楼主顺利!

另外，请问磁控溅射一般薄膜厚度和溅射功率、溅射电流等有什么具体的关系？比如多大功率对应多厚的膜之类的？
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4楼2013-05-05 16:21:54
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
搞得跟国家安全局破案似的，就不能具体说出来什么化合物需要什么成分比啊？这也会透露你课题组机密？！

你这样只说了个大概，别人也只能给个大概啊！
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
5楼2013-05-06 00:58:11
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