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海上柳

金虫 (正式写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by wbcui at 2013-05-09 16:33:03
大哥,绝缘靶材不能用直流
只能用RF

所以,如你所说的那样,就没法溅射了,或者能溅射,但出来的成分会变。...

十分感谢!
9楼2013-05-09 16:36:07
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查看全部 14 个回答

wbcui

至尊木虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
用射频的话,沉积速率会较低
而且,两者溅出来的包膜的成分会有差别
2楼2013-04-18 10:16:02
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HHBWF

禁虫 (小有名气)

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3楼2013-04-18 10:21:39
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by HHBWF at 2013-04-18 11:21:39
请问一下 我所用的就是单质的金属靶材 这样溅射出来的成分也有差别吗?...

要是合金把的话,有区别

单质靶没大差别吧

你的好像是反应溅射?
应该差别不大
4楼2013-04-18 10:44:49
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