应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？
141/2返回列表12下一页
查看: 3979  |  回复: 13
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

HHBWF

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

PVD镀膜类技术资料

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-04-18 09:43:35
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

qwcmos

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
9楼: Originally posted by 海上柳 at 2013-05-09 16:36:07
十分感谢！...

“绝缘靶材不能用直流”  这也不是绝对的，只能说是使用DC溅射绝缘靶材会更容易造成靶材中毒。

另外，使用RF做ZnO和DC做ZnO是有区别的，不仅仅是溅射速率的问题，薄膜的沉积相貌，生长方式和致密度也会有区别的，这就需要你自己做测试寻找区别了。e.g. AFM，SEM

还有，使用RF做ZnO和DC做Zn+O是完全不用的，不能靠感觉。首先，膜厚方面，这就需要你自己测量（使用台阶仪或SEM测量膜厚并计算沉积速率）。成膜方面，不同Ar/O2比例制备的薄膜也不一样。还有一点就是，如果O2少了，就会做成缺氧状态的ZnO，这要做TEM分析的。

最后就是，【还有一个问题 我所要镀的膜需要进行掺杂，掺杂源也是另一种金属 不过需要掺杂的量很少，这样的话 我应该选择直流溅射Zn 射频溅射那种金属呢？还是直流溅射那种金属 射频溅射Zn呢？】------你这个说了这么多，我都没看明白，不就是微量掺杂。使用In胶把掺杂的金属片粘到Zn target上不就好了吗（一定要粘到跑道上哈），RF还是DC，看你心情了。至于掺杂含量，呵呵，沉成膜后EPMA检测吧，少了就多粘点~~~~~~~~实验吗，就是这样的，勤劳就有收获。

[ Last edited by qwcmos on 2013-5-14 at 10:42 ]
赞一下(2人) 回复此楼
10楼2013-05-14 10:32:27
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
用射频的话，沉积速率会较低
而且，两者溅出来的包膜的成分会有差别
赞一下 回复此楼
2楼2013-04-18 10:16:02
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

HHBWF

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
3楼2013-04-18 10:21:39
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by HHBWF at 2013-04-18 11:21:39
请问一下 我所用的就是单质的金属靶材 这样溅射出来的成分也有差别吗？...

要是合金把的话，有区别

单质靶没大差别吧

你的好像是反应溅射？
应该差别不大
赞一下 回复此楼
4楼2013-04-18 10:44:49
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

HHBWF

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
5楼2013-04-18 10:57:46
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by HHBWF at 2013-04-18 11:57:46
对 是反应溅射 溅射出来的金属与通入的氧气反应，还有想请教一下，我之前是用ZnO陶瓷靶做的，用的射频 一般是加150W的功率 如果我改用金属Zn靶，用直流做的话 功率大概应该在什么范围呢？能给我些建议不...

这个你自己试吧
我没做过，不知道。

要使用Zn靶的话，还是RF的好，因为形成ZnO后会敷在靶表面，DC就不行了
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

海上柳
6楼2013-04-18 16:40:37
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

海上柳

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
送红花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by wbcui at 2013-04-18 16:40:37
这个你自己试吧
我没做过，不知道。

要使用Zn靶的话，还是RF的好，因为形成ZnO后会敷在靶表面，DC就不行了...

我是新手，请教是不是说用ZnO的陶瓷靶的话，采用直流溅射电源是没办法进行溅射的吗？
谢谢！
赞一下 回复此楼
7楼2013-05-09 15:06:20
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
7楼: Originally posted by 海上柳 at 2013-05-09 16:06:20
我是新手，请教是不是说用ZnO的陶瓷靶的话，采用直流溅射电源是没办法进行溅射的吗？
谢谢！...

大哥，绝缘靶材不能用直流
只能用RF

所以，如你所说的那样，就没法溅射了，或者能溅射，但出来的成分会变。
赞一下 回复此楼
8楼2013-05-09 16:33:03
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

海上柳

金虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by wbcui at 2013-05-09 16:33:03
大哥，绝缘靶材不能用直流
只能用RF

所以，如你所说的那样，就没法溅射了，或者能溅射，但出来的成分会变。...

十分感谢！
回复此楼
9楼2013-05-09 16:36:07
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 HHBWF 的主题更新
141/2返回列表12下一页
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 大佬帮着分析今年的评审意见？该课题连续申请了三年了，明年要不要换个方向。 100+3 cai-11138 2026-08-31 11/550 2026-09-06 20:49 by archvillain
[文学芳草园] 两块石头 +7 阿美_Lml888 2026-09-03 10/500 2026-09-06 20:08 by 阿美_Lml888
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 j5mmowWXNWxv 2026-09-05 6/300 2026-09-06 18:41 by eObJPa4gWmp6
[硕博家园] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +4 jPDp0sc2B7zQ 2026-09-05 6/300 2026-09-06 18:21 by eObJPa4gWmp6
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 jPDp0sc2B7zQ 2026-09-05 4/200 2026-09-06 18:09 by eObJPa4gWmp6
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 jPDp0sc2B7zQ 2026-09-05 6/300 2026-09-06 18:09 by eObJPa4gWmp6
[论文投稿] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 jPDp0sc2B7zQ 2026-09-05 6/300 2026-09-06 18:01 by eObJPa4gWmp6
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 jPDp0sc2B7zQ 2026-09-05 6/300 2026-09-06 17:21 by eObJPa4gWmp6
[教师之家] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 jPDp0sc2B7zQ 2026-09-05 9/450 2026-09-06 17:09 by eObJPa4gWmp6
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 j5mmowWXNWxv 2026-09-05 3/150 2026-09-06 13:09 by eObJPa4gWmp6
[考博] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 j5mmowWXNWxv 2026-09-05 4/200 2026-09-06 12:49 by eObJPa4gWmp6
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 jPDp0sc2B7zQ 2026-09-05 7/350 2026-09-06 11:20 by eObJPa4gWmp6
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 jPDp0sc2B7zQ 2026-09-05 8/400 2026-09-06 11:09 by eObJPa4gWmp6
[论文投稿] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 jPDp0sc2B7zQ 2026-09-04 8/400 2026-09-06 11:00 by eObJPa4gWmp6
[考研] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 jPDp0sc2B7zQ 2026-09-05 4/200 2026-09-06 07:20 by E1iiBLMU2XnD
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +6 7ZYIEW2YWn72 2026-09-04 9/450 2026-09-06 06:00 by E1iiBLMU2XnD
[基金申请] 面上没中，邀请各位路过的虫友分析一下分数 +12 jackleilei 2026-09-03 13/650 2026-09-05 18:10 by fireguard
[文学芳草园] 初秋的晨风 +4 阿美_Lml888 2026-09-04 6/300 2026-09-05 13:51 by 阿美_Lml888
[基金申请] 学科评审组评审是指会评吗？ +6 瞬息宇宙 2026-08-31 9/450 2026-09-05 13:11 by haizai99
[基金申请] 要骂人了，新模版改版就是要淡化问题凝练这种虚的东西，结果有个评委还在说凝练得不够 +9 瞬息宇宙 2026-08-31 17/850 2026-09-02 14:04 by anjeeshine
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭