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HHBWF

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海上柳

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
送红花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by wbcui at 2013-04-18 16:40:37
这个你自己试吧
我没做过,不知道。

要使用Zn靶的话,还是RF的好,因为形成ZnO后会敷在靶表面,DC就不行了...

我是新手,请教是不是说用ZnO的陶瓷靶的话,采用直流溅射电源是没办法进行溅射的吗?
谢谢!
7楼2013-05-09 15:06:20
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查看全部 14 个回答

wbcui

至尊木虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
用射频的话,沉积速率会较低
而且,两者溅出来的包膜的成分会有差别
2楼2013-04-18 10:16:02
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HHBWF

禁虫 (小有名气)

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3楼2013-04-18 10:21:39
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by HHBWF at 2013-04-18 11:21:39
请问一下 我所用的就是单质的金属靶材 这样溅射出来的成分也有差别吗?...

要是合金把的话,有区别

单质靶没大差别吧

你的好像是反应溅射?
应该差别不大
4楼2013-04-18 10:44:49
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