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risktaker111

金虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射 镍薄膜 直流 交流 电源

如题，本人最近用磁控溅射在硅衬底上镀Ni薄膜，但是用直流电源时，功率无法调节，基本上加上电源，功率就恒定了，电流表数值很小，电压表数值7Kv左右固定，怎么调，功率都不变？什么原因！    其次，用交流电源时，功率可以调节了，但是淀积速率太慢，2h，150w功率，2Pa，才30nm左右？谁做过类似的实验，请指教！
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1楼 2013-03-07 15:50:01
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fengzi枫紫

金虫 (小有名气)
请教楼主 直流电源在哪买的？是可以调节的吗
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3楼2013-04-24 08:53:37
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辽宁号

木虫 (著名写手)

航空母舰舰长

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
risktaker111: 金币+5, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2013-03-12 20:11:18
铁，钴，镍是导磁材料，装上镍靶后靶面磁场减弱，不容易起辉，或起辉后溅射速度变慢。
可以采用薄靶材和强磁场的磁路布局方式解决问题。
https://bbs.chinesevacuum.com/dispbbs.asp?boardid=34&id=34487
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自由水世界
2楼2013-03-12 11:17:38
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